真空バタフライバルブ(圧力コントロールシステム）

真空バタフライバルブ（圧力コントロールシステム）

HTC社　真空バタフライバルブ（圧空コントロールシステム）のご紹介。適合フランジはNW/KF/ISOが有ります。
使用圧力範囲：10^-8mbar～2bar
※その他のISOフランジ、JISフランジの真空バタフライバルブもご相談ください。

（備考）
特注品（カスタム品）のご要望にも応じております。
メンテナンスサービスも数名の専門スタッフが迅速に対応。（本社工場：関西です）
自社工場に十分なスペースと、十分な自社設備が整っており、信用・信頼できます。
　※注）上記理由より、アフターサービス認定工場へは、一切委託しておりません。

真空バタフライバルブ(圧力コントロールシステム）（NW/KF）

真空バタフライバルブ
（圧力コントロールシステム）
（NW/KF）

■仕様
シール材質：バイトン
ボディ、プレート、シャフト材質：SUS304
許容ベーキング温度：ハウジング＜150℃、駆動部＜60℃
リークレート：1×10^-9mbar l/s
使用圧力範囲：10^-8mbar～1.2bar
オープン時最大差圧：1.0bar
メンテナンスサイクル：
2,000,000回(圧力制御)　250,000回(全開/全閉)
位置コントロール：複数位置設定（0°～90°）
開/閉時間：0.85s
周囲操作条件：0～50℃
バルブサイズ：1 1/2”～6”

■単位：mm

フランジ	A	B	D	E	F	G	H	価格（税抜）	納期
NW40	27	57	80	282.5	322.5	90	130	お問合せ	お問合せ
NW50	27	57	90	288	333	90	130	お問合せ	お問合せ

※CAD図面もございます。ご要求下さい。
※価格は予告なく急な変更が発生する場合がございますのでご了承ください。。

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真空バタフライバルブ(圧力コントロールシステム）（ISO）

真空バタフライバルブ
（圧力コントロールシステム）
（ISO）

■仕様
シール材質：バイトン
ボディ、プレート、シャフト材質：SUS304
許容ベーキング温度：ハウジング＜150℃、駆動部＜60℃
リークレート：1×10^-9mbar l/s
使用圧力範囲：10^-8mbar～1.2bar
オープン時最大差圧：0.2bar
メンテナンスサイクル：
2,000,000回(圧力制御)　250,000回(全開/全閉)
位置コントロール：複数位置設定（0°～90°）
開/閉時間：0.85s
周囲操作条件：0～50℃
バルブサイズ：1 1/2”～6”

■単位：mm

フランジ	A	B	C	D	E	F	G	H	価格（税抜）	納期
ISO63	30	15	21	130	310	375	90	130	お問合せ	お問合せ
ISO100	30	36	36	165	329	411.5	90	130	お問合せ	お問合せ
ISO160	40	55.5	55.5	225	359	471.5	90	130	お問合せ	お問合せ

※CAD図面もございます。ご要求下さい。
※価格は予告なく急な変更が発生する場合がございますのでご了承ください。

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圧力コントローラー

■制御原理/特徴

１：バルブ
２：プロセスチャンバー
３：ガス導入口
４：圧力センサー
５：センサーケーブル
６：コントローラとアクチュエーター
７：リモートコントローラケーブル
８：電源ケーブル
９：真空ポンプ

１：ＡＰＣコントローラー
２：カップリング(SUS304)
３：ベアリング(SUS304)
４：Oリング
５：プレート(SUS304）
６：ボディ(SUS304）

	コネクター	タイプ
電源	電源入力	DB-9male
センサー	センサー入力	DB-15 female
インターフェイス	RS232	DB-25 female
サービス	APCサービス	MiniUSB type B female

センサー供給：24V DC or±15V DC
バックアップ電源：有
センサー数量：２
信号電圧：0-10V DCリニア圧力
入力抵抗：Ri=47 k Ω
解像度：2.3mV
サンプリングレート e ：1ms
制御精度：最大センサー範囲 0.2％
位置解像度：8000(ステップ 0-90℃回転)

■APCソフトウェア

・制御チューニングパラメータを設定する：GAIN
・圧力及び位置制御モード
・スケジュールテストモード＝１サイクルスケジュール
・バルブ開/閉速度設定
・APC　HW/SWバージョン、シリアルコード、モデル番を記録する
・バルブサイクルと実行時間を記録する
・圧力の公差範囲を設定する
・サイクルライフ及び制御を記録する
・コントローラーパラメーターをアップロードとダウンロード
・停電保護
・画面キャップチャー

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