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MDC社 ICF203 真空ゲートバルブ

ICF203 真空ゲートバルブ

ICF203 真空ゲートバルブ

                      単位:Inch
【仕様】
型名 302018 その他
フランジ ICF203
真空領域 1.3×10-9Pa UHV対応
リークレート 2×10-10cc/sec of He
許容温度(バルブ開)
    (バルブ閉)
200℃
150℃
250℃(カルレッツ)
200℃(カルレッツ)
【※圧空式 仕様】
アクチュエーター(圧力) 70〜100 psig
ソレノイド 120vac、50/60Hz、4W
ポジションインジケーター
(マイクロスイッチ)
5A(120/240vac)

超高真空ゲートバルブ(MDC社)

※ICF305(内径10インチ)もあります。
 お問合せください。
※その他、MDC社 真空ゲートバルブに付きましてはお問合せください。

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