![]() スクロールポンプ |
特長 ・炭化水素フリー →完全にドライでオイルフリーの真空ポンプ ・低騒音・低振動、コンパクトデザイン ・安全なオペレーション ・Industry 4.0 →RS485通信によるターボ分子ポンプなどのファイファー 製品とのスマートな連動 スマートな制御システムにより、真空度に応じてポンプ回転数を自動制御することができます。これにより、摩耗と騒音レベルを最小限に抑え、メンテナンスサイクルを長くする事が可能です。 ・高品質によるLow Cost of Ownership →短い作業時間と長いメンテナンス寿命 ・内蔵された真空計(オプション)により、排気性能のモニ タリングと優れたスピードコントロールを可能にします。 用途 ・質量分析 ・加速器 ・基礎研究 ・リークチェック ・半導体分野 ・コーティング市場 ・ガス回収 ・真空乾燥 |
機種 | HiScroll 6 | HiScroll 12 | HiScroll 18 | |
吸気口 | NW25 | NW25 | NW25 | |
排気口 | NW25 | NW25 | NW25 | |
排気速度 | (m3/h) | 6.1 | 12.1 | 18.1 |
リークレート | (Pa m3/h) | 5 .0× 10-7 | 5.0 × 10-7 | 5.0 × 10-7 |
重量 | (kg) | 19 | 24 | 23 |
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