超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS
超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS
超低ガス放出残留ガス分析計
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■製品特長 ・低輻射/高熱伝導の0.2％BeCu合金製イオン源フランジ (ICF70)によりフィラメントからの熱影響を遮断し、 HXVにおける高精度ガス分析を可能にした超低ガスRGA ・PtIr合金グリッドの採用により、水素と電子衝撃離脱 (ESD：Electron Stimulated Desorption)のガス放出を 大幅に低減 ・10-6A/Pa(FC)の高感度を維持 ・ベース機種：米国インフィコン社 Transpector MPH 100,200,300,amu |
イオンソース |
ハイパワー電子ボンバード
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| 質量範囲 | 100,200,300amu |
| 検出器タイプ | FC/EM |
| イオン化エネルギー | 70eV |
| フィラメントタイプ | Y2O3-Ir デュアルフィラメント |
| 感度 | 3.8×10-6A/Pa(100amu FC Sensor) |
| 最小検出速度 | 1.8msec |
| 動作温度 | 200℃(FC),150℃(EM) |
| ベーキング温度 | 最大300℃ センサー単体 |
| イオンソース | NiP メッキ 0.2％BeCu合金 |
| 通信 | TCP/IP イーサネット |
| ソフトウェア | FabGuard Explorer Windows XP,7,8.1対応 |
■超低ガス放出残留ガス分析計 WATTMASSについて
一般的な四重極残留ガス分析にて10-7Pa以下の超高・極高真空領域(UHV/XHV)の残留ガス分析を行うと、センサー先端部イオン源からのガス放出が無視できなくなり、そのままでは高精度のガス分析を行うことは困難となります。
WATMASSは、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析が高精度で行えるようにイオン源を改良した製品です。
■WATMASSの低ガス放出化への徹底したこだわり
・熱陰極イオン源および、センサーニップル管(ICF70)を低輻射/高熱伝導の0.2％BeCu製を採用することで、
低消費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減
・グリッドを白金イリジウム(Pt-Ir)合金で製作することで、ESDガス放出を低減
（ハイパワー電子ボンバードの併用)
・電気炉にによる徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層の形成
■アプリケーション例
・XHV/UHVの高精度なガス分析
・表面分析
・半導体デバイスの劣化とガス放出
・光刺激、電子刺激によって発生するガス分析
・封止デバイス/MEMSのガス分析(Micro Electro Mechanical System)
・ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析
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