ファイファーバキューム社ドライポンプ

多段ルーツ式ドライポンプ

多段ルーツ式ドライポンプ
（ACPシリーズ）

・プロセスモニタリング、ロードロック/トランスファーチャンバー、
　イオンビームなどのクリーンアプリケーション向け
・パーティクルレスでクリーンな排気
・空冷式で冷却水が不要
・リークタイト 5 × 10^-8 Pa・m³/s　ガス回収、ガス循環に最適
・スタンダードモデル
・耐腐食性ガス対応モデル（Gバージョン）
・凝縮性蒸気対応モデル（CVバージョン）

■製品仕様

機種	排気速度 l/min (m³/h) 50/60Hz	吸気口径	排気口径	到達真空度パージガスなし（Pa）	到達真空度パージガスあり（Pa）	最大水蒸気処理量（g/h）
ACP15	232 （14）	NW25	NW16	3	―	80
ACP15G	232 （14）		NW16		10	―
ACP28	448 （27）		NW25		―	120
ACP28G					10	―
ACP28CV					―	700
ACP40	614 （37）	NW40			―	―
ACP40G					10	―
ACP40CV					―	700

※耐腐食性用途につきましては事前にご使用のガス等ご相談ください。

このページの先頭へ

ダイアフラムポンプ

・オイルフリー
・低振動、低騒音、（分析装置・研究用途にもお勧め）
・国内外対応、電源仕様
・ブーストモードによりポンプ起動時時の高排気速度を実現
　※MVP015-2DC,MVP015-4DCのみ搭載

■製品仕様

機種	排気速度 (l/min:50Hz)	排気速度 (l/min:60Hz)	吸気口径 *1	排気口径 *1	到達真空度 (Pa)	リークレート (Pa･m³/s)
MVP006-4	4.2（24VDC）		G1/8		200	6.0×10^-3
MVP015-2 DC	16.7（24VDC）*2		G1/8	G1/8	350	5.0×10^-4
MVP015-2	8.3	11.7			350
MVP015-4 DC	12.5（24VDC）*2				50
MVP015-4	8.3 （230VAC）	10 （120VAC）	NW16		50
MVP020-3 AC	20	23.3	G1/8		200	1.0×10^-2
MVP030-3 DC	30（24VDC）		G1/8		250	1.0×10^-2
MVP040-2	38.3	41.7	G1/4		400	2.0×10^-3
MVP070-3	63.3	71.7	G1/4		100	2.0×10^-3
MVP070-3C *3	56.7	63.3	ホースニップル 10ｍｍ	NW16	150	2.0×10^-3

*1：変換用部品もありますので、お問合せください。
*2：ブーストモード時の最大排気量となります。
*3：耐腐食性機種となります。

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

このページの先頭へ

スクリュー型ドライポンプ

・排気速度：100～600(m³/h)
・オイルフリー
・水冷システムに温度センサー付き調節バルブ搭載
・パーティクル、液体に強い
・独自の異形ピッチ型スクリュー方式：
　・エネルギー効率アップ
　・冷却ガス不要
　・低回転数　3000 1/min
・低騒音

■製品仕様

機種	排気速度 l/min (m³/h) 50Hz	排気速度 l/min (m³/h) 60Hz	吸気口径	排気口径	到達真空度 (Pa) 50Hz	到達真空度 (Pa) 60Hz	ノイズ (db) 50Hz	ノイズ (db) 60Hz
Hepta100	1883 （110）	2167 （130）	DN63 ISO-K	DN40- PN16	<5.0	<1.0	70	74
Hepta200	3667 （220）	4417 （265）		DN50- PN16			71	76
Hepta300	5333 （320）	6833 （410）		DN50- PN16			72	77
Hepta400	5833 （350）	7000 （420）	DN100 ISO-K	DN80- PN16			66	69
Hepta600	8750 （525）	10500 （630）	DN100 ISO-K	DN80- PN16			70	75

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

このページの先頭へ

ACG600シリーズ

・コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなど一般産業向け
・高スループット
・10m³までの大型チャンバーの排気が可能（オプション）
・耐腐食ガス対応モデル（Ｇバージョン）

■製品仕様

機種	排気速度l/min(m³/h) 50Hz	排気速度l/min(m³/h) 60Hz	吸気口径	排気口径	到達真空度パージンガスなし(Pa)
ACG600	8000（480）	9333（560）	NW50	NW40	9.0×10^-2
ACG600G *1

*1：耐腐食性機種となります。

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

このページの先頭へ

多段ルーツ式ドライポンプ

ACPシリーズ
・プロセスモニタリング、ロードロック/トランスファー
　チャンバー、イオンビームなどのクリーンアプリケーション向け
・パーティクルレスでクリーンな排気
・空冷式→冷却水不要
・リークタイト　5×10^-8Pa･m³/s
　→ガス回収、ガス循環に最適
・スタンダードモデル
・耐腐食性ガス対応モデル（Gバージョン）
・凝縮性蒸気対応モデル（CVバージョン）

■製品仕様

機種	排気速度 l/min (m³/h) 50Hz/60Hz	吸気口径	排気口径	到達真空度パージガスなし (Pa)	到達真空度パージガスあり (Pa)	最大水蒸気処理量 (g/h)
ACP15	232 （14）	DN 25ISO- KF	DN 16ISO- KF	3	－	80
ACP15G	232 （14）		DN 16ISO- KF		10	－
ACP28	448 （27）		DN 25ISO- KF		－	120
ACP28G					10	－
ACP28CV					－	700
ACP40	614 （37）	DN 40ISO- KF			－	－
ACP40G					10	－
ACP40CV					－	700

※耐腐食性用途については事前にご使用ガス等ご相談ください。

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

このページの先頭へ

ACP120シリーズ

・コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなどの一般産業向け
・大型チャンバーの粗引き用途
・耐腐食ガス対応モデル（Ｇバージョン）
・パーティクルレスでクリーンな排気

■製品仕様

機種	排気速度 l/min (m³/h) 50Hz	排気速度 l/min (m³/h) 60Hz	吸気口径	排気口径	到達真空度パージガスなし (Pa)
ACP120	1580（95）	1860（112）	NW50	NW40	3
ACP120G *1

*1：耐腐食性機種となります。
※耐腐食性用途については事前にご使用ガス等ご相談ください。

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

このページの先頭へ

A100L/A200L

・ロードロック、及びクリーンプロセス向け
・ハイパフォーマンス、高スループット
・低振動、低ノイズ
・低消費電力タイプ（ＥＳバージョン）
・コンパクト設計

■製品仕様

機種	排気速度 l/min (m³/h) 50Hz/60Hz	吸気口径	排気口径	到達真空度 (Pa)	消費電力 (kw) *1
A100L	1583（95）	NW50	NW25	6.6	1.6
A200L	3340（200）	NW50	NW25	1.3	0.7

*1：到達真空度時

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

このページの先頭へ

A103Pドライポンプ

・ミディアムプロセス向け（エッチャー、イオン注入、PVDなど）
・省エネ、省スペース

■製品仕様

機種	排気速度l/min (m³/h)	吸気口径	排気口径	到達真空度パージガスなし(Pa)	到達真空度パージガスあり(Pa)
A103Ｐ *1	2000（120）	NW50	NW25	6.5×10^-1	2.6

*1：耐腐食性機種となります。
※耐腐食性用途については事前にご使用ガス等ご相談ください。

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

このページの先頭へ

Ａ4Ｈシリーズ

・ハーシュプロセス向けドライポンプ（PECVD、SACVD、ALDなど）
・過酷なプロセス向け
・高ガススループット

■製品仕様

機種	排気速度l/min (m³/h) 50Hz	排気速度l/min (m³/h) 60Hz	吸気口径	排気口径	到達真空度パージガスなし(Pa) 50Hz	到達真空度パージガスあり(Pa) 60Hz
A124Ｈ *1	1587 （95）	1837 （110）	ISO50K	NW40	5	2
A604Ｈ *1	8000 （480）	9352 （560）	ISO100K		2.0×10^-1	2.0×10^-1
A1204Ｈ *1	17535 （1050）	19200 （1150）	ISO160K		2.2×10^-1	2.0×10^-1
A1804Ｈ *1	27555 （1650）	28333 （1700）	ISO160K		8.0×10^-1	4.0×10^-1