リチウムスパッタ装置
リチウムスパッタ装置
リチウムスパッタ装置
ガス循環精製装置
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1.リチウム金属をスパッタ成膜できます。
2.全個体電池やリチウムイオン電池のリチウム負極の成膜に最適です。
3.ワンタッチでターゲット交換ができ作業が容易です。
4.水分や酸素との反応性が高い材料を真空成膜できます。
5.ガリウム、カリウムなどの低融点材料の成膜ができます。
6.グローブボックスを直結し大気にさらすことなく材料を取り扱えます。
7.正極、電解質、負極を連続して成膜試作できる3元スパッタタイプも用意。
■主な仕様
| 項目 | 仕様 |
| チャンバー スパッタガン 基板トレイ グローブボックス |
SUS304 シールド板付 φ2インチ 1基 最大φ2インチ 真空型、パスボックス付 |
| オプション | 3元スパッタ、PLD、ガス循環精製装置(露点-80以下） |
注）尚、性能向上のため予告なく仕様を変更する事があります。
※本装置は、東京工業大学 物質理工学院 応用化学系
菅野了次教授、平山雅章准教授のご指導を受けています。
バナースペース
株式会社ティサポート
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