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プラズマ増強CVD装置　（PECVD）

プラズマ増強CVD装置　（PECVD）




実際の放電
■概要

プラズマ発生電極フンランジ：ICF70、ICF114，ICF1152
RF電源：100-1000W
水冷構造
真空内寸法：お客様ご指定

真空装置

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プラズマ増強CVD装置

（PECVD）

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（PLD）

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（MFS）

XPS/ARPESシステム集成

（XPS/UPS/ARPES）

その他、納入真空装置

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高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
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高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
(ｱﾙﾐﾆｳﾑ)

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ﾌｼﾞｷﾝ製
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

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