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真空部品・真空機器・真空装置・理化学機器のご提供

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XPS/ARPESシステム集成（XPS/UPS/ARPES）

XPS/ARPESシステム集成（XPS/UPS/ARPES）
■概要

光電子分光（角度分解含めて）システムの設計製作
ロッドドック室とサンプル準備室
真空獲得と検出
テンプルの解離と転送
サンプル表面だし（イオンガンスパッターと真空アニール）
五軸又は六軸サンプルマニピュレーター
温度範囲；10K－1000K
（注：半球型アナライザーと光源は含まれていない）

真空装置　

分子線エピタキシーシステム

（MBE）

プラズマ増強CVD装置

（PECVD）

有機発光ディバイスシステム

（OLED）

パルスレーザーアブレーション装置

（PLD）

マグネトロンスパッタ装置

（MFS）

XPS/ARPESシステム集成

（XPS/UPS/ARPES）

その他、納入真空装置

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NW(KF)ｸﾗﾝﾌﾟ

NW(KF)ｾﾝﾀｰﾘﾝｸﾞ

真空ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙﾁｭｰﾌﾞ

高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ

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MDC社ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ

高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
超高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ

ｵｰﾙﾒﾀﾙｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ

高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
(ｽﾃﾝﾚｽ)

高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
(ｱﾙﾐﾆｳﾑ)

真空ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ

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振子式ﾊﾞﾙﾌﾞ･
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真空ｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ

MDC社製品

ｷｬﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ製品

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ﾌｼﾞｷﾝ製
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

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