超高真空搬送システム｜真空部品のティサポート

超高真空搬送システム

■概要
本システムは国立研究開発法人情報通信研究機構(NICT）にて、
世界に先駆けて開発された市販の乾電池で作動するモバイルイオンポンプを搭載し、
小型軽量な搬送機構及び基板収納部を備えた超高真空可搬型搬送システムです。
本システムを使用することにより、遠方に試料を汚染することなく宅配便で送ることも可能です。

超高真空搬送システム
	乾電池駆動による搬送試験神戸―前橋間(約800ｋｍ)を車と新幹線で往復

■特長
1.乾電池で動作するモバイルイオンポンプを搭載しており、超高真空に試料を保ったまま送ることが出来ます。
2.スーツケースに収納することにより宅急便で輸送することが出来ます。
3.試料搬送機能を備えており、輸送機構のないシステムへの接続・試料交換が可能です。

項目

主な仕様

1.使用ポンプ
2.収納基板
3.輸送機構
　
4.収納室形状
5.バルブ
6.重量
7.圧力領域

モバイルイオンポンプ
最大1インチ（搬送試料につきましてはご相談ください。）
マグネットカップリング型搬送機構
ストローク約300ｍｍ・直進・回転可能
180×80×80　ICF70ポート4箇所
ミニフランジ排気ポート付ICF70ゲートバルブ
約30kg（ゲートバルブ含む）
10^-5Pa～10^-9Pa
10^-4Pa～10^-9Pa　（オプション）

　尚、性能向上のため予告なく仕様を変更する事があります。

　注）本イオンポンプは国立研究開発法人情報通信研究機構(NICT)の特許に基づき製品化したものです。