有機発光デバイスシステム（OLED）
有機発光デバイスシステム（OLED）
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基板：
四つの32mm×32mm基板を装着
12個のマスクにより、一つの基板には四つのデバイスを同時製作
マスク切り替えはパソコン操作
四つのシャッターは同時又は独立操作
蒸着源：
12個のボート状蒸着源装置
遮蔽板により、蒸着源の相互汚染を防止
膜厚計により成膜速度を検出
真空装置
分子線エピタキシーシステム（MBE）
プラズマ増強CVD装置（PECVD）
有機発光ディバイスシステム（OLED） |
パルスレーザーアブレーション装置（PLD）
マグネトロンスパッタ装置（MFS）
XPS/ARPESシステム集成（XPS/UPS/ARPES） |
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