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真空部品・真空機器・真空装置・理化学機器のご提供

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分子線エピタキシーシステム　（MBE）

分子線エピタキシーシステム　（MBE）
■概要

成長室真空度：＜1×10-8Pa
基板サイズ：1-3インチ
基板温度：1000℃
基板四軸駆動
面内回転はDCモーター制御、回転速度調整可能
シャッター付き
ロードロックチャンバー付き
各種高温/低温蒸着源装置
LEED/RHEED装着可能
ガス導入可能

その他、MBEシステム　

真空装置

分子線エピタキシーシステム

（MBE）

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（MFS）

XPS/ARPESシステム集成

（XPS/UPS/ARPES）

その他、納入真空装置

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高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
(ｽﾃﾝﾚｽ)

高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
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