小型単元スパッタ装置 |
2”スパッタガン |
構成 | 主な仕様 |
チェンバー及び排気系 | ・チェンバー:φ200×400 SUS304 ・主ポンプ :700L/sターボ分子ポンプ ・到達圧力 :5×10-5Pa ・ゲージ :ピラニゲージ及びペニングゲージ ・ポート :排気・スパッタガン1基(1”スパッタガンの場合3基まで可能) 基板交換ハッチ ・操作 :手動 |
スパッタ源 | ・2”スパッタガン ・300W DC電源(パワー設定可能) 或いはマッチングボックス付300W RF電源 |
基板ステージ | ・収納基板 :最大φ2” ・300℃或いは800℃加熱機構(オプション) |
ガス導入機構 | 10SCCMマスフローコントローラー |
所在地
〒576-0043
大阪府交野市松塚14-12
TEL 072-895-3113
FAX 072-895-3114
MAIL info@t-support-co.com