超高真空ゲートバルブ（HVA社）
超高真空ゲートバルブ（HVA社）
超高真空ゲートバルブ（HVA社）価格・納期に付きましては是非お問合せください。 |
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| 項目 | 仕様 | |
| リークレート | 2×10-10ATM・cc / sec | |
| 使用圧力範囲 | UHV対応 | 1×10-10～760Torr メタルシール |
| HV対応 | 1×10-9～760Torr バイトンシール | |
| 逆圧 | 760Torr | |
| メンテナンスサイクル | 100,000回 | |
| ベーキング温度 | UHV対応 本体 | 200℃ メタルシール部+マイクロスイッチ |
| HV対応 本体 | 150℃ バイトンシール部+リードスイッチ | |
| アクチュエーター 圧空式 | 60℃ | |
| 材質 | 本体 | SUS304（電解研磨） |
| ベローズ | AM350 | |
| シール材 | UHV対応 | ボンネット：銅ガスケット / ゲート：バイトンO-リング |
| HV対応 | ボンネット・ゲート：バイトンO-リング | |
| 電磁弁 | 標準 | AC120V / DC24V |
| オプション | AC220V / DC12V | |
| 作動エアー圧 | 2.8～5.6ｋｇ/ｃｍ2 | |
| フランジサイズ | 型式 | 図面 | フランジサイズ | 型式 | 図面 |
| 手動式 ICF34 | 11120-0064 | 2D | 手動式 ICF34 | 11110-0064 | 2D |
| 手動式 ICF70 | 11120-0154 | 2D | 手動式 ICF70 | 11110-0154 | 2D |
| 手動式 ICF114 | 11120-0254 | 2D | 手動式 ICF114 | 11110-0254 | 2D |
| 手動式 ICF152 | 11120-0404 | 2D | 手動式 ICF152 | 11110-0404 | 2D |
| 手動式 ICF203 | 11120-0604 | 2D | 手動式 ICF203 | 11120-0604 | 2D |
| 手動式 ICF253 | 11120-0804 | 2D | 手動式 ICF253 | 11110-0804 | 2D |
| 手動式 ICF305 | 111120-1004 | 2D | 手動式 ICF305 | 11110-1004 | 2D |
| 圧空式 ICF34 | 11222-0064 | 2D | 圧空式 ICF34 | 11212-0064 | 2D |
| 圧空式 ICF70 | 11222-0154 | 2D | 圧空式 ICF70 | 11212-0154 | 2D |
| 圧空式 ICF114 | 11222-0254 | 2D | 圧空式 ICF114 | 11212-0254 | 2D |
| 圧空式 ICF152 | 11222-0404 | 2D | 圧空式 ICF152 | 11212-0404 | 2D |
| 圧空式 ICF203 | 11222-0604 | 2D | 圧空式 ICF203 | 11212-0604 | 2D |
| 圧空式 ICF253 | 11222-0804 | 2D | 圧空式 ICF253 | 11212-0804 | 2D |
| 圧空式 ICF305 | 11222-1004 | 2D | 圧空式 ICF305 | 11212-1004 | 2D |
（注意）
※価格・納期に付きましてはお問合せいただきますようお願い致します。
※価格は予告なく急な変更が発生する場合がございますのでご了承ください。
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