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HVA社 真空ゲートバルブ

HVA社 真空ゲートバルブ

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是非お問合せください。
 
 
■バルブ共通仕様
項目 仕様
リークレート 2×10-10ATM・cc / sec
使用圧力範囲 UHV対応  1×10-10〜760Torr メタルシール
 HV対応 1×10-9〜760Torr バイトンシール
逆圧 760Torr
メンテナンスサイクル 100,000回
ベーキング温度 UHV対応 本体 200℃ メタルシール部+マイクロスイッチ
HV対応 本体 150℃ バイトンシール部+リードスイッチ
アクチュエーター 圧空式 60℃
材質 本体 SUS304(電解研磨)
ベローズ AM350
シール材 UHV対応 ボンネット:銅ガスケット / ゲート:バイトンO-リング
HV対応  ボンネット・ゲート:バイトンO-リング
電磁弁 標準 AC120V / DC24V
オプション AC220V / DC12V
作動エアー圧 2.8〜5.6kg/cm2


■UHV対応                ■HV対応
フランジサイズ 型式 図面 フランジサイズ 型式 図面
手動式 ICF34 11120-0064 2D 手動式 ICF34 11110-0064 2D
手動式 ICF70 11120-0154 2D 手動式 ICF70 11110-0154 2D
手動式 ICF114 11120-0254 2D 手動式 ICF114 11110-0254 2D
手動式 ICF152 11120-0404 2D 手動式 ICF152 11110-0404 2D
手動式 ICF203 11120-0604 2D 手動式 ICF203 11120-0604 2D
手動式 ICF253 11120-0804 2D 手動式 ICF253 11110-0804 2D
手動式 ICF305 111120-1004 2D 手動式 ICF305 11110-1004 2D
圧空式 ICF34 11222-0064 2D 圧空式 ICF34 11212-0064 2D
圧空式 ICF70 11222-0154 2D 圧空式 ICF70 11212-0154 2D
圧空式 ICF114 11222-0254 2D 圧空式 ICF114 11212-0254 2D
圧空式 ICF152 11222-0404 2D 圧空式 ICF152 11212-0404 2D
圧空式 ICF203 11222-0604 2D 圧空式 ICF203 11212-0604 2D
圧空式 ICF253 11222-0804 2D 圧空式 ICF253 11212-0804 2D
圧空式 ICF305 11222-1004 2D 圧空式 ICF305 11212-1004 2D
※NW(KF)規格・ISO規格・JIS規格のゲートバルブはお問合せください。

(注意)
※価格・納期に付きましてはお問合せいただきますようお願い致します。

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