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真空部品・真空機器・真空装置・理化学機器のご提供

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ファイファーバキューム社 四重極質量分析計

PrismaPlus QGM220 / 四重極質量分析計

四重極質量分析計
(QGM220)

・分析管とコントローラーが一体型
・モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合
・一つの測定ファイルで128チャンネルを割り当て可能
・8桁以上の大きなダイナミックレンジ
・最速2msの高速測定
■製品仕様
QMG220 F1 M1 F2 M2 F3 M3
マスレンジ 1-100 1-100 1-200 1-200 1-300 1-300
ディテクタ ファラデー
チャンネル
トロン
チャンネル
トロン
チャンネル
トロン
検出限界(Pa)
ファラデー/
チャンネル
トロン
1×10-10 5×10-10 2×10-10 1×10-9 4×10-10 2×10-9
1×10-12 <2×10-12 <4×10-12
感度:Ar(A/Pa)
ファラデー/
チャンネル
トロン
1×10-5 5×10-6 6×10-6 3×10-6 3×10-6 1.5×10-6
2 2 1
許容最大圧力(Pa)
ファラデー/
チャンネル
トロン
1×10-2 1×10-2 1×10-2 1×10-2 1×10-2 1×10-2
1×10-3 1×10-3 1×10-3
隣接ピーク
寄与率
Mass40/41
(ppmppm)
<10 <10 <20 <20 <50 <50
■PrismaPlus型質量分析装置の推薦メンテナンス間隔
メンテナンス内容 メンテナンス間隔 ユーザー作業
(QGM220F,QGM220M型) 6ヶ月 12ヶ月 24ヶ月 可否
空冷ファンフィルター清掃
フィラメント交換
分析管オーバーホール ×
チャンネルトロン交換(QGM220M) ×
(付属周辺装置) 12ヶ月 24ヶ月 48ヶ月 可否
ターボ分子ポンプオイルリザーバ−交換
(HiPace80型)
ターボ分子ポンプオーバーホール
(HiPace80型)
×
メンブレンポンプオーバーホール
(015・020型)
×
ロータリーポンプオイル交換
ロータリーポンプオーバーホール ×
真空計オーバーホール
(PKR型)
×
○:メンテナンス推薦
△:劣化時(メンブレンポンプ:稼働合計時間MVP015型半年以上、MVP020型1年以上)
注:推薦メンテナンス間隔は稼働時間・使用するガス種・圧力により異なりますので参考値となります。
※:ユーザーによる作業は事前トレーニングが必要です。

OmniStar & ThermoStar GSD320 / ベンチトップガスモニター

・2段減圧方式により高速レスポンス・マスディスクリミネーションを防止
・最大200℃、オプションで350℃での温度制御ヒータ付きキャピラリ付属
・ガスタイト型イオン源の採用により少量の導入ガスを効率良くイオン化
・100%酸素導入も可能
・マトリクス濃度計算による定量分析
・温度等外部信号の取り込み
・スレッシュホールド機能により外部機器を制御
■製品仕様
機種 OmniStar ThemoStar
測定質量数 100
200
300
 キャピラリ材質 ステンレス 石英
ガス導入 バルブ制御可能 連続導入
(メモリ効果防止)
 ガス流量(sccm) 1〜2
■Omnistar-Thermostar型ガス分析装置の推薦メンテナンス間隔
メンテナンス内容 メンテナンス間隔 ユーザー作業
(GSD300型,GSD301型) 6ヶ月 12ヶ月 24ヶ月 48ヶ月 可否
空冷ファンフィルター類、本体内部清掃
フィラメント交換
分析管オーバーホール ×
チャンネルトロン交換 ×
分析チャンバー、導入フランジ洗浄 ×
キャピラリー・オリフィス交換
オイルリザーバ−交換
ターボ分子ポンプオーバーホール ×
メンブレンポンプオーバーホール ×
真空計オーバーホール ×
○:メンテナンス推薦
△:劣化時(メンブレンポンプ:稼働合計時間GSD320型1年以上)
注:推薦メンテナンス間隔は稼働時間・使用するガス種・圧力により異なりますので参考値となります。
※:ユーザーによる作業は事前トレーニングが必要です。

Sputter Process Monitor SPM220 / プロセスモニター

・プロセスコントロール用差動排気型質量分析計
・プロセスガスの純度・不純物の測定
・プロセス圧力でイオン化する独自構造のSPMイオンソースにより、分析チャンバー内の水分等残留ガスによる
 影響を徹底的に排除
・プロセス室の変化に高速応答
・40eVのイオン化電圧により二価イオンを抑制
■製品仕様
機種 Sputter Process Monitor SPM220
質量分析範囲 1〜100amu、1〜200amu
 対応プロセス圧力 1Pa以下(標準)
検出器  C-SEM/Faraday
 接続フランジ DN40CF-F(ICF70CF)
測定チャンネル数 128ch(MID時系列モード)
 測定速度 アナログ・バーグラフ:20ms/amu(Min.)
ステア・MID(Dwell):2ms(Min.)
ターボ分子ポンプ HiPace80 with TC110RS(4 acc.ports)
粗引きポンプ MVP020-3(メンブレン)
最小検知感度
(Ar中、1〜100amu型)
CO2:100ppb以下 
水素:3,000ppb以下
窒素:100ppb以下
酸素:100ppb以下
H2O:500ppb以下
動作電圧 単相100V/200V、50/60Hz
重量 13kg(本体+ダーボ分子ポンプ)
インターフェース イーサネット
動作OS Windows 7Pro
8.1(32,64bit)
10(32,64bit)

HiQuad QMG700 / 高性能質量分析計

・多用途高性能四重極質量分析計
・モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合
・1〜16,128,300,340,512,1024,2048amuの測定レンジ
・10種類を超えるイオンソース・イオンレンズを選択可能
・高感度・低ノイズ・最大10桁のダイナミックレンジを実現
・耐放射線型・水素脱ガス(アニール)型(QMA125分析管のみ)
■製品仕様
機種 HiQuad QMG700
高分解能測定型 高質量測定型 
質量分析範囲 1〜16,128,340amu 1〜300,512,1024,2048amu
最大測定圧力 1・10-3Pa(SEM)/1・10-2Pa(Faraday)
検出器  ディスクリートSEM(コンバージョンダイノード型オプション)/Faraday
 Qボール 16mm径,300mm長,モリブデン 8mm径,200mm長,モリデブン(300amuのみSUS)
分解能 >M/△M=600(m/z=4,16amuタイプ) >M/△M=2
最小検出限界 5・10-14Pa(128amuタイプ) 1・10-13Pa(512amuタイプ)
最小検出限界(分圧)  0.3ppb(128amuタイプ) 0.5ppb(512amuタイプ)
測定チャンネル数 128ch
最小測定速度 アナログ・バーグラフ:20ms/amu(Min.)
ステア・MID:125μs/amu(Min.)
測定動作温度  最大150℃
ベーキング温度 動作時最大180℃/分析管単体最大400℃(注意・諸条件有)
動作電圧 単相100V/200V、50/60Hz
動作OS Windows 7 Professional
8.1(32,64bit)
10(32,64bit)

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(真空部品、真空ゲートバルブ、真空バルブ、真空コンポーネント、真空ポンプ、真空計、ガス分析計、マスフロー)

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