φ70CF 電子銃 |
30kV 制御電源 |
Si 回析像 |
GaNO2 200mToor |
項目 | 仕様 |
1.電子銃 加速電圧 フィラメント レンズ ビーム径 偏向 取付フランジ ベーキング 形状 2.制御電源 加速電圧 安定度 リモート操作 安全保護 形状 |
最大30Kv Wヘアピン 電磁型対物レンズ1段 φ2.5mm以下 X.Y直交方向最大±5° φ70ICF 最高180℃ 外径φ74×250mm 最大30kV連続可変 0.1%以下 加速電圧、フィラメント電流 フォーカス、X.Y偏向 高電圧プロテクション付 480mm×150mm×400mm |
3.オプション @スクリーン、シャッターフランジ A差動排気 B画像処理システム |
φ114ICF・φ152ICF・φ203ICFいづれも対応 1段差動型ターボ分子ポンプ(10mTorr動作まで可能) 500mToorまでの場合2段差動排気となります。 CCDカメラ・CPU処理 |
所在地
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大阪府交野市松塚14-12
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FAX 072-895-3114
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