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RHEEDシステム(反射高速電子銃解析システム)

RHEEDシステム(反射高速電子銃解析システム)

■概要
 本システムは、真空下で加速収束された電子銃を基板に照射し、解析像をスクリーンに結合し、
 基板表面の評価を行うための高速電子銃解析(RHEED)システムです。

φ70CF 電子銃

30kV 制御電源

Si 回析像

GaNO2 200mToor



■特長
1.小型軽量ながら、加速電圧30kV迄安定に使用できます。
2.超高真空から500mTorr迄(オプション含む)像観察が可能です。
3.100台以上の豊富な実績を基に、安全かつ容易な操作メンテナンスが出来ます。
4.豊富なオプションを揃え、拡張性に優れています。


【構成及び主な仕様】
項目 仕様
1.電子銃
  加速電圧
  フィラメント
  レンズ
  ビーム径
  偏向
  取付フランジ
  ベーキング
  形状
2.制御電源
  加速電圧
  安定度
  リモート操作
 
  安全保護
  形状

最大30Kv
Wヘアピン
電磁型対物レンズ1段
φ2.5mm以下
X.Y直交方向最大±5°
φ70ICF
最高180℃
外径φ74×250mm

最大30kV連続可変
0.1%以下
加速電圧、フィラメント電流
フォーカス、X.Y偏向
高電圧プロテクション付
480mm×150mm×400mm
3.オプション
 @スクリーン、シャッターフランジ
 A差動排気
 
 B画像処理システム

φ114ICF・φ152ICF・φ203ICFいづれも対応
1段差動型ターボ分子ポンプ(10mTorr動作まで可能)
500mToorまでの場合2段差動排気となります。
CCDカメラ・CPU処理
 注)尚、性能向上のため予告なく仕様を変更する事があります。

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