2”スパッタガン
2”スパッタガン
■概要
本スパッタガンは磁石にネオジマグネットを採用し、
全て溶接・ロウ付構造となっているため超高真空対応が可能なスパッタガンです。
■特長
1.磁石にネオジマグネットを用い、磁場強度を強くしており、磁性体ターゲットにも対応可能です。
2.マグネットは特殊処理され真空中に配置してあり、冷却水による劣化がありません。
3.すべての部品及び接続部を溶接・ロウ付としており、ベーキング150℃・超高真空対応が可能です。
注）尚、性能向上のため予告なく仕様を変更する事があります。
本スパッタガンは磁石にネオジマグネットを採用し、
全て溶接・ロウ付構造となっているため超高真空対応が可能なスパッタガンです。
2”スパッタガン |
1.磁石にネオジマグネットを用い、磁場強度を強くしており、磁性体ターゲットにも対応可能です。
2.マグネットは特殊処理され真空中に配置してあり、冷却水による劣化がありません。
3.すべての部品及び接続部を溶接・ロウ付としており、ベーキング150℃・超高真空対応が可能です。
| 構成 | 主な仕様 |
| 形式 | マグネトロンスパッタ |
| 磁石 | ネオジ/Niコート |
| ターゲット形状 | φ2”×3ｍｍ（磁性体1.5ｍｍ） |
| ベーキング | 150℃ |
| 冷却 | 水冷：溶接・ロウ付にて封じております。 |
| 冷却水量 | 2L/min 以上 |
| 絶縁 | アルミナセラミック：ロウ付 |
| 取付フランジ | ICF152 （ICF114も対応可） |
| 電源 | 300W DC電源 或いは マッチングボックス付300W RF電源 |
| オプション | シャッター機構 手動/自動 |
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