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真空部品・真空機器・真空装置・理化学機器のご提供

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プラズマ増強CVD装置　（PECVD）

プラズマ増強CVD装置　（PECVD）




実際の放電
■概要

プラズマ発生電極フンランジ：ICF70、ICF114，ICF1152
RF電源：100-1000W
水冷構造
真空内寸法：お客様ご指定

真空装置

分子線エピタキシーシステム

（MBE）

プラズマ増強CVD装置

（PECVD）

有機発光ディバイスシステム

（OLED）

パルスレーザーアブレーション装置

（PLD）

マグネトロンスパッタ装置

（MFS）

XPS/ARPESシステム集成

（XPS/UPS/ARPES）

その他、納入真空装置

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真空ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙﾁｭｰﾌﾞ

高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ

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超高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ

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高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
(ｽﾃﾝﾚｽ)

高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
(ｱﾙﾐﾆｳﾑ)

真空ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ

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振子式ﾊﾞﾙﾌﾞ･
ｽﾘｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞ･ﾄﾞｧﾊﾞﾙﾌﾞ

その他ﾊﾞﾙﾌﾞ
 

回転導入機
(ﾍﾞﾛｰｽﾞ式、ﾏｸﾞﾈｯﾄ式)

直線導入機

小型ﾄﾗﾝｽﾌｧｰﾛｯﾄﾞ

ﾄﾗﾝｽﾌｧｰﾛｯﾄﾞ

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ﾏﾆﾋﾟｭﾚｰﾀｰ

直線導入機
(高精度中空型)

ﾒｶﾆｶﾙﾊﾝﾄﾞ

ﾋﾞｰﾑﾗｲﾝｽﾘｯﾄ

ｱﾝｸﾞﾙｱｼﾞｬｽﾄ
(溶接ﾍﾞﾛｰｽﾞ・成型ﾍﾞﾛｰｽﾞ)

ﾋﾞｭｰﾎﾟｰﾄｼｬｯﾀｰ

ﾛｰﾄﾞﾛｯｸﾄﾞｱ

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MDC社製品

ｷｬﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ製品

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ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ

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真空計

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ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

ﾌｼﾞｷﾝ製
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

真空部品センター②
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