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HTC社 真空ゲートバルブ

HTC社 真空ゲートバルブ

HTC社  真空ゲートバルブ

 
 
 
フランジサイズ 価格
(税抜)
納期 フランジサイズ 価格
(税抜)
納期
手動式 ICF70 ¥145,000 在庫あり 圧空式 ICF70 ¥165,000 お問合せ
手動式 ICF114 ¥220,000 在庫あり 圧空式 ICF114 ¥252,000 お問合せ
手動式 ICF152 ¥290,000 在庫あり 圧空式 ICF152 ¥328,000 お問合せ
手動式 ICF203 ¥395,000 在庫あり 圧空式 ICF203 ¥442,000 お問合せ
手動式 ICF253 お問合せ お問合せ 圧空式 ICF253 お問合せ お問合せ

■バルブ共通仕様

項目 仕様
Heリークレート <2×10-10std cc / sec
使用圧力範囲 1×10-10Torr〜ATM メタルシール
メンテナンスサイクル ICF70〜ICF114:100,000回
ICF152〜ICF253:50,000回
ベークキング温度 OPEN 200℃
CLOSE 150℃
材質 本体・搬送部・ゲート部 SUS304
ベローズ AM350
シール材 ボンネット 銅ガスケット
ゲート バイトンO-リング
オプション リードセンサー・電磁弁・ポジションインジケーター
作動エアー圧 2.8〜5.6kg/cm2


超高真空ICF70ゲートバルブ(手動式)
 
超高真空ICF70ゲートバルブ(圧空式)


超高真空ICF114〜ICF253ゲートバルブ(手動式)
 
超高真空ICF114〜ICF253ゲートバルブ(手動式)
単位:mm
フランジサイズ A B C D E F G H L
手動式 ICF70 45.4 52 51 63 90 88 119 113 232
手動式 ICF114 65 68 70 107 143 158 207 160 367
手動式 ICF152 69.6 68 70 146 182 222 297 160 457
手動式 ICF203 79 70 78 204 238 306.5 407 169 576
手動式 ICF253 84.4 70 78 245 282 382 506 183 689
圧空式 ICF70 45.4 52 53 63 90 88 119 135 254
圧空式 ICF114 65 68 62 107 143 158 207 155 362
圧空式 ICF152 69.6 68 94 146 182 222 297 170 467
圧空式 ICF203 79 70 94 2004 238 306.5 407 198 605
圧空式 ICF253 84.4 70 94 245 282 382 506 198 704
※NW(KF)規格・ISO規格・JIS規格のゲートバルブはお問合せください。

(注意)
※納期の”在庫あり”に付きましては在庫状況が刻々と変化しておりますので、
 お急ぎの場合はお問合せいただきますようお願い致します。

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