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HTC社 真空ゲートバルブ

HTC社 真空ゲートバルブ

HTC社  真空ゲートバルブ

 
 
 
フランジサイズ 価格
(税抜)
納期 フランジサイズ 価格
(税抜)
納期
手動式 ICF70 ¥145,000 在庫あり 圧空式 ICF70 ¥165,000 お問合せ
手動式 ICF114 ¥220,000 在庫あり 圧空式 ICF114 ¥252,000 お問合せ
手動式 ICF152 ¥290,000 在庫あり 圧空式 ICF152 ¥328,000 お問合せ
手動式 ICF203 ¥395,000 在庫あり 圧空式 ICF203 ¥442,000 お問合せ
手動式 ICF253 お問合せ お問合せ 圧空式 ICF253 お問合せ お問合せ

■バルブ共通仕様

項目 仕様
Heリークレート <2×10-10std cc / sec
使用圧力範囲 1×10-10Torr〜ATM メタルシール
メンテナンスサイクル ICF70〜ICF114:100,000回
ICF152〜ICF253:50,000回
ベークキング温度 OPEN 200℃
CLOSE 150℃
材質 本体・搬送部・ゲート部 SUS304
ベローズ AM350
シール材 ボンネット 銅ガスケット
ゲート バイトンO-リング
オプション リミットスイッチ・電磁弁・ポジションインジケーター
作動エアー圧 2.8〜5.6kg/cm2


超高真空ICF70ゲートバルブ(手動式)
 
超高真空ICF70ゲートバルブ(圧空式)


超高真空ICF114〜ICF253ゲートバルブ(手動式)
 
超高真空ICF114〜ICF253ゲートバルブ(手動式)
単位:mm
フランジサイズ A B C D E F G H L
手動式 ICF70 45.4 52 51 63 90 88 119 111 230
手動式 ICF114 69 76 46 112 145 189 251 183 434
手動式 ICF152 73 76 46 142 178 224 305 183 486
手動式 ICF203 78 76 51 195 232 294 392 260 652
手動式 ICF253 82.4 78 51 243 277 348 472 260 732
圧空式 ICF70 45.4 52 53 63 90 88 119 135 254
圧空式 ICF114 69 76 94 112 145 189 251 218 469
圧空式 ICF152 73 76 94 142 178 224 305 218 523
圧空式 ICF203 78 76 114 195 232 294 392 245 637
圧空式 ICF253 82.4 78 114 243 277 348 472 245 171
※NW(KF)規格・ISO規格・JIS規格のゲートバルブはお問合せください。

(注意)
※納期の”在庫あり”に付きましては在庫状況が刻々と変化しておりますので、
 お急ぎの場合はお問合せいただきますようお願い致します。

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