超高真空ゲートバルブ（HTC社）ICF｜真空バルブ

超高真空ゲートバルブ(HTC社)ICF

超高真空ゲートバルブ(ＨＴＣ社)ＩＣＦ規格フランジに使用する真空ゲートバルブの御紹介
使用圧力範囲:1.0×10^-7Pa～ATMメタルシール　メンテナンスサイクル:100,000回

超高真空ゲートバルブ(HTC社)ICF

超高真空ゲートバルブ(ＩＣＦ) (手動式)
超高真空ICF70ゲートバルブ（手動式）	超高真空ICF114～ICF253ゲートバルブ（手動式）

型式	フランジサイズ	価格（税抜）	納期
gv70m	手動式　ICF70	￥146,000	在庫あり
gv114m	手動式　ICF114	￥195,000	在庫あり
gv152m	手動式　ICF152	￥235,000	在庫あり
gv203m	手動式　ICF203	￥338,000	在庫あり
gv253m	手動式　ICF253	￥445,000	お問合せ

（注意）
※CAD図面もございます。ご要求下さい。
※納期の”在庫あり”に付きましては在庫状況が刻々と変化しておりますので、
　お急ぎの場合はお問合せいただきますようお願い致します。
※価格についてはぜひご相談下さい。
※価格は予告なく急な変更が発生する場合がございますのでご了承ください。

（備考）
特注品（カスタム品）のご要望にも応じております。
メンテナンスサービスも数名の専門スタッフが迅速に対応。（本社工場：関西です）
自社工場に十分なスペースと、十分な自社設備が整っており、信用・信頼できます。
　※注）上記理由より、アフターサービス認定工場へは、一切委託しておりません。

■単位：ｍｍ

フランジサイズ	A	B	C	D	E	F	G	H	L
手動式 ICF70	45.4	52	51	63	90	88	119	113	232
手動式 ICF114	65	68	70	107	143	158	207	160	367
手動式 ICF152	69.6	68	70	146	182	222	297	160	457
手動式 ICF203	79	70	78	204	238	306.5	407	183	590
手動式 ICF253	84.4	70	78	245	282	382	506	183	730

超高真空ゲートバルブ(ＩＣＦ) (圧空式)
超高真空ICF70ゲートバルブ（圧空式)	超高真空ICF114～ICF253ゲートバルブ（圧空式）

型式	フランジサイズ	価格（税抜）	納期
gv70ｐ	圧空式　ICF70	お問合せ	お問合せ
gv114ｐ	圧空式　ICF114	お問合せ	お問合せ
gv152ｐ	圧空式　ICF152	お問合せ	お問合せ
gv203ｐ	圧空式　ICF203	お問合せ	お問合せ
gv253ｐ	圧空式　ICF253	お問合せ	お問合せ

フランジサイズ	A	B	C	D	E	F	G	H	L
圧空式 ICF70	45.4	52	53	63	90	88	119	135	254
圧空式 ICF114	65	68	62	107	143	158	207	155	362
圧空式 ICF152	69.6	68	94	146	182	222	297	170	467
圧空式 ICF203	79	70	94	2004	238	306.5	407	198	605
圧空式 ICF253	84.4	70	94	245	282	382	506	198	704

■バルブ共通仕様

項目		仕様
Heリークレート		＜2×10^-10std cc / sec
使用圧力範囲		1.0×10^-7Pa～ATM　メタルシール
メンテナンスサイクル		ICF70～ICF114：100,000回
		ICF152～ICF253：50,000回
ベークキング温度	OPEN	200℃
	CLOSE	150℃
材質	本体・搬送部・ゲート部	SUS304
	ベローズ	AM350
シール材	ボンネット	銅ガスケット
	ゲート	バイトンO-リング
オプション		リードセンサー・電磁弁
作動エアー圧		4～6ｋｇ/ｃｍ²