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超高真空ゲートバルブ(HTC社)ICF

超高真空ゲートバルブ(HTC社)ICF規格フランジに使用する真空ゲートバルブの御紹介
使用圧力範囲:1×10-10torr〜ATMメタルシール メンテナンスサイクル:100,000回

超高真空ゲートバルブ(HTC社)ICF

超高真空ゲートバルブ(ICF)
(手動式)

 
超高真空ICF70ゲートバルブ(手動式)



超高真空ICF114〜ICF253ゲートバルブ(手動式)
フランジサイズ 価格
(税抜)
納期
手動式 ICF70 ¥130,000 在庫あり
手動式 ICF114 ¥185,000 在庫あり
手動式 ICF152 ¥215,000 在庫あり
手動式 ICF203 ¥320,000 在庫あり
手動式 ICF253 ¥404,000 お問合せ
(注意)
CAD図面もございます。ご要求下さい。
納期の”在庫あり”に付きましては在庫状況が刻々と変化しておりますので、
 お急ぎの場合はお問合せいただきますようお願い致します。
価格についてはぜひご相談下さい。
※価格は予告なく変更する場合がございますのでご了承ください。

(備考)
特注品(カスタム品)
のご要望にも応じております。
メンテナンスサービス数名の専門スタッフが対応しております。(本社工場:関西です。)


■単位:mm
フランジサイズ A B C D E F G H L
手動式 ICF70 45.4 52 51 63 90 88 119 113 232
手動式 ICF114 65 68 70 107 143 158 207 160 367
手動式 ICF152 69.6 68 70 146 182 222 297 160 457
手動式 ICF203 79 70 78 204 238 306.5 407 183 590
手動式 ICF253 84.4 70 78 245 282 382 506 183 689

超高真空ゲートバルブ(ICF)
(圧空式)


超高真空ICF70ゲートバルブ(圧空式)



超高真空ICF114〜ICF253ゲートバルブ(圧空式)
フランジサイズ 価格
(税抜)
納期
圧空式 ICF70 ¥152,000 お問合せ
圧空式 ICF114 ¥205,000 お問合せ
圧空式 ICF152 ¥234,000 お問合せ
圧空式 ICF203 ¥335,000 お問合せ
圧空式 ICF253 お問合せ お問合せ
(注意)
CAD図面もございます。ご要求下さい。
納期の”在庫あり”に付きましては在庫状況が刻々と変化しておりますので、
 お急ぎの場合はお問合せいただきますようお願い致します。
価格についてはぜひご相談下さい。
※価格は予告なく変更する場合がございますのでご了承ください。


(備考)
特注品(カスタム品)
のご要望にも応じます。
メンテナンスサービスも数名の専門スタッフが対応いたします。(本社工場:関西)

■単位:mm
フランジサイズ A B C D E F G H L
圧空式 ICF70 45.4 52 53 63 90 88 119 135 254
圧空式 ICF114 65 68 62 107 143 158 207 155 362
圧空式 ICF152 69.6 68 94 146 182 222 297 170 467
圧空式 ICF203 79 70 94 2004 238 306.5 407 198 605
圧空式 ICF253 84.4 70 94 245 282 382 506 198 704
■バルブ共通仕様
項目 仕様
Heリークレート <2×10-10std cc / sec
使用圧力範囲 1×10-10Torr〜ATM メタルシール
メンテナンスサイクル ICF70〜ICF114:100,000回
ICF152〜ICF253:50,000回
ベークキング温度 OPEN 200℃
CLOSE 150℃
材質 本体・搬送部・ゲート部 SUS304
ベローズ AM350
シール材 ボンネット 銅ガスケット
ゲート バイトンO-リング
オプション リードセンサー・電磁弁
作動エアー圧 4〜6kg/cm2

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