フジキン製マスフローコントローラー
マスフローコントローラー
FINE series PURE® FCS®
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FINE series PURE® FCS®
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| 型式 | FCST1005(M)ZF/TM1005(M)ZF FCST1005(M)ZD(DeviceNetTM)/TM1005(M)ZD |
| 流量レンジ(N2換算流量) | Bin 1：10SCCM～30SCCM Bin 2：31SCCM～100SCCM Bin 3：101SCCM～300SCCM Bin 4 301SCCM～1000SCCM Bin 5：1001SCCM～3000SCCM |
| バルブタイプ | N/O： ノーマルオープン、 N/C： ノーマルクローズ |
| 流量制御範囲 | 2%～100% F.S. |
| 流量精度 | 100%～25%： ±1.0% S.P., 25%～2%： ±0.25% F.S（. 精度保証範囲 15～35℃） |
| 流量設定信号 | 0.1～5VDC |
| 流量出力信号 | 0～5VDC |
| 直線性 | ±0.5% F.S. |
| 再現性 | ±0.2% F.S. |
| 応答時間 | ≦1sec |
| 必要差圧 | 50～300kPa （Ar： 100～300kPa） |
| 最大動作圧力 | 400kPaG（Ar： 500kPaG） |
| 耐圧力 | 1MPaG |
| 使用保証温度範囲 | 5～50 ℃ |
| 外部リーク | メタルシール： 1×10－11 Pa・m3/sec He、ラバーシール： 1×10 ｰ7 Pa・m3/sec He |
| 取付姿勢 | 指定無し(自由) |
| 供給電源電圧・ 消費電力 |
T1000（M）ZF: +15VDC 50mA、ｰ15VDC 200mA / TM1000（M）ZF: +15VDC 50mA、ｰ15VDC 50mA |
| T1000（M）ZD: +11～+24VDC 5.5VA （5.5W） | |
| 通信方式 | アナログ： 0～5VDC、デジタル： RS485（フジキンプロトコル）、DeviceNetTM（SEMI E54 及び ODVA SEMI SIG MFC プロファイル） |
| 接ガス部材料 | SUS316L、磁性ステンレス、Hastelloy（センサ部）、PTFE、フッ素ゴム 又は クロロプレンゴム |
| シール部材質 | メタルシール： SUS316L、ラバーシール：フッ素ゴム 又は クロロプレンゴム |
| アクチュエータ方式 | ソレノイドアクチュエータ |
| 表面処理 | 無し（EP処理: オプション） |
| 接続継手 | 1/4” UJR、1/4” F900、1.5 Wseal®、1.125 Wseal®、1.125 Cseal |
| デジタル通信 | RS485、標準通信速度 38400bps、最大接続台数 127台 |
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