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フジキン製マスフローコントローラー

マスフローコントローラー

FINE series PURE® FCS®
サーマルシリーズ FCST1000

FINE series PURE® FCS®
サーマルシリーズ FCST2000


■製品仕様 ※詳しくはカタログをご参照ください。
型式 FCST1005(M)ZF/TM1005(M)ZF
FCST1005(M)ZD(DeviceNetTM)/TM1005(M)ZD
流量レンジ(N2換算流量) Bin 1:10SCCM~30SCCM
Bin 2:31SCCM~100SCCM
Bin 3:101SCCM~300SCCM
Bin 4 301SCCM~1000SCCM
Bin 5:1001SCCM~3000SCCM
バルブタイプ  N/O: ノーマルオープン、 N/C: ノーマルクローズ
流量制御範囲  2%~100% F.S.
流量精度 100%~25%: ±1.0% S.P., 25%~2%: ±0.25% F.S(. 精度保証範囲 15~35℃)
流量設定信号 0.1~5VDC
流量出力信号 0~5VDC
直線性 ±0.5% F.S.
再現性  ±0.2% F.S.
応答時間  ≦1sec
必要差圧  50~300kPa
(Ar: 100~300kPa)
最大動作圧力  400kPaG(Ar: 500kPaG)
耐圧力  1MPaG
使用保証温度範囲  5~50 ℃
外部リーク  メタルシール: 1×10-11 Pa・m3/sec He、ラバーシール: 1×10 ー7 Pa・m3/sec He
取付姿勢  指定無し(自由)
供給電源電圧・
消費電力
 T1000(M)ZF: +15VDC 50mA、ー15VDC 200mA / TM1000(M)ZF: +15VDC 50mA、ー15VDC 50mA
  T1000(M)ZD: +11~+24VDC 5.5VA (5.5W)
通信方式 アナログ: 0~5VDC、デジタル: RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNetTM(SEMI E54 及び ODVA SEMI SIG MFC プロファイル)
接ガス部材料  SUS316L、磁性ステンレス、Hastelloy(センサ部)、PTFE、フッ素ゴム 又は クロロプレンゴム
シール部材質  メタルシール: SUS316L、ラバーシール:フッ素ゴム 又は クロロプレンゴム
アクチュエータ方式  ソレノイドアクチュエータ
表面処理  無し(EP処理: オプション)
接続継手  1/4” UJR、1/4” F900、1.5 Wseal®、1.125 Wseal®、1.125 Cseal
デジタル通信  RS485、標準通信速度 38400bps、最大接続台数 127台
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