本文へスキップ

真空部品・真空機器・真空装置・理化学機器のご提供

お問合せ. info@t-support-co.com
TEL. 072-895-3113

ファイファーバキューム社 真空計

アクティブライン

PKR360
ピラニ&
コールドカソード
コンビネーションゲージ

・エレクトロニクス内臓 専用コントローラー不要、省スペース
・ノイズに強い多機能アナログ出力 測定信号、エラー信号など判別可能
・ゲージコネクター形状の統一 複数コントローラー不要
・ゲージ自動認識(プラグアンドプレイ)
 複数(最大6ch)のゲージを1台のコントローラーに接続可能
■製品仕様
A:ガス種に依存しない、力学的な計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域(Pa) 最大許容圧力
上限 下限 (bar)
APR250 ピエゾゲージ NW16 1.1×105 10 3
APR260 ICF34
APR262 G1/4” 2.2×105 20 6
APR265 5.5×105 50 15
APR266 1.1×106 100 30
APR267 5.5×106 500 150
CMR361 セラミックス
キャパシタンス
ゲージ
NW16
ICF34
1/2”チューブ
Cajon 8 VCR
1.1×105 10 3
CMR362 1.1×104 1 2
CMR363 1.1×103 1.0×10-1
CMR364 110 1.0×10-2
CMR365 11 1.0×10-3 1.3
CMR371 セラミックス
キャパシタンス
ゲージ
温度(45℃補正)
1.1×105 10 3
CMR372 1.1×104 1 2
CMR373 1.1×103 1.0×10-1
CMR374 110 1.0×10-2
CMR375 11 1.0×10-3
B:ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域(Pa) 最大許容圧力
上限 下限 (Pa)
TPR280 ピラニゲージ NW16
ICF34
1.0×105 5.0×10-2 1×106
TPR281 耐腐食性
ピラニゲージ
TPR270 ピラニゲージ NW16
ICF34
1.0×105 1.0×10-2 1×106
TRP271 耐腐食性
ピラニゲージ
5.0×10-2
PCR280 ピラニ&キャパシタンス
コンビネーションゲージ
NW16
ICF34
1.5×105 5.0×10-3 5.0×10-6
IKR360 コールドカソードゲージ NW25
NW40
ICF70
1 1.0×10-7 1×106
IKR361
IKR270 5.0×10-9
PKR360 ピラニ&コールドカソード
コンビネーションゲージ
NW25
NW40
ICF70
1.0×105 1.0×10-7 1×106
PKR361
IMR265 プロセスイオンゲージ NW16
NW25
NW40
ICF34
ICF70
1.0×105 2.0×10-4 5×105
PBR260 ピラニ&ホットカソード
コンビネーションゲージ
NW25
NW40
ICF70
1.0×105 5.0×10-8 2×106
■アクティブライン専用コントローラー
型式・名称 接続可能数 リレー個数 真空度
表示形式
TPG361
シングルゲージ
コントローラー
1 2
TPG362
デュアルゲージ
コントローラー
2 4 同時表示可
TPG366
マキシゲージ
コントローラー
6 6
*1
6ch同時可能
*1:IMR265/PBR260に関しては、最大3個まで接続可能

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

※上記製品の他に、ピエゾゲージ・セラミックキャパシタンスゲージ等が御座います。

デジライン

・エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省スペース
・2種類のフィールドバスコンバーター(Profibusコンバーター、DeviceNetコンバーター) → システムコン
 トローラーで制御可能
・RS485 ケーブルでゲージ間シリアル接続可能 → 省ケーブル
・PC、PLCへのデータ転送可能なコントローラー → データ管理が容易で、コンパクト
■製品仕様
A:ガス種に依存しない、力学的な計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域(Pa) 最大許容圧力
上限 下限 (bar)
CPT200 ピエゾゲージ NW16
G1/4”
2.0×105 100 4
B:ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域(Pa) 最大許容圧力
上限 下限 (bar)
PPT200 ピラニゲージ NW16
ICF34
1.0×105 1.0×10-2 4
RPT200 ピエゾ&ピラニ
コンビネーションゲージ
NW16
ICF34
1.2×105
HPT200 ピラニ&
ホットカソード
コンビネーションゲージ
NW40
ICF70
1.0×105 5.0×10-7
*1
MPT200 ピラニ&
コールドカソード
コンビネーションゲージ
NW25
NW40
ICF70
1.0×105 5.0×10-8
*1
*1:フランジによる
■デジライン用共通コントローラー
型式 名称 接続可能数 リレー個数 真空度表示形式
DPG202 2 2
このページの先頭へ

モジュールライン

・多様なニーズにお応えできるラインナップ
 超高真空仕様、耐腐食性仕様、耐放射線仕様
・加速器、放射光関係などの研究機関への納入実績多
■製品仕様
B:ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域(Pa) 対放射線
上限 下限 (Gy)
TPR010 ピラニゲージ NW10 1.0×105 8.0×10-2
TPR017 耐腐食性&耐放射線
ピラニゲージ
NW16
ICF34
1.0×104
TPR018 超高真空&
耐放射線
ピラニゲージ
NW16
ICF34
ICF70
IKR050
*2
コールドカソードゲージ NW25
*1
NW40
ICF70
5.0×10-1 2.0×10-7
IKR060
*3
超高真空&
耐放射線
コールドカソードゲージ
1.0×10-8 1.0×107
IKR070
*3
1.0×10-9
*1:IKR050 のみ NW25対応
*2:内部バイトンシール
*3:内部メタルシール


■TPG300シリーズ用共通コントローラー
型式 名称 接続可能数 リレー個数 真空度表示形式
TPG300 4 5
*1
切換
*1:要リレーボード(オプション)このページの先頭へ

その他:ハンディピラニゲージ

・専用コントローラー不要、省スペース
・データロガー機能
・駆動電源は乾電池9V型、またはACアダプター(オプション)
・持ち運びに便利。フィールドサービス用途に◎。
・大気圧近辺で高精度で測定が可能(TPG202のみ)
・1000Pa以上はガス種に依存しない測定が可能(TPG202のみ)
■製品仕様
B:ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域(Pa) 最大許容圧力
上限 下限 (bar)
TPG201 ピラニゲージ NW16 1.0×105 5.0×10-2 4
TPG202 ピエゾピラニゲージ NW16 1.2×105   5.0×10-2 2
このページの先頭へ

真空部品センター@
(真空部品、真空ゲートバルブ、真空バルブ、真空コンポーネント、真空ポンプ、真空計、ガス分析計、マスフロー)

バナースペース

株式会社ティサポート

大阪本社
〒576-0043
大阪府交野市松塚14-12
TEL 072-895-3113
FAX 072-895-3114
MAIL info@t-support-co.com

東京営業所
〒175-0094
東京都板橋区成増3丁目22-3
コスモパレス 102号室
TEL 03-6904-1675
FAX 03-6904-1685
MAIL info@t-support-co.com