ファイファーバキューム社真空計｜真空部品のティサポート

ファイファーバキューム社真空計

アクティブライン

PKR360
ピラニ＆
コールドカソード
コンビネーションゲージ

・エレクトロニクス内臓　専用コントローラー不要、省スペース
・ノイズに強い多機能アナログ出力　測定信号、エラー信号など判別可能
・ゲージコネクター形状の統一　複数コントローラー不要
・ゲージ自動認識（プラグアンドプレイ）
　複数（最大6ch）のゲージを1台のコントローラーに接続可能

■製品仕様
A：ガス種に依存しない、力学的な計測方式

型式	名称	フランジ	測定領域（Pa）		最大許容圧力
型式	名称	フランジ	上限	下限	（bar）
APR250	ピエゾゲージ	NW16	1.1×10⁵	10	3
APR260		ICF34	1.1×10⁵	10	3
APR262		G1/4”	2.2×10⁵	20	6
APR265			5.5×10⁵	50	15
APR266			1.1×10⁶	100	30
APR267			5.5×10⁶	500	150
CMR361	セラミックスキャパシタンスゲージ	NW16 ICF34 1/2”チューブ Cajon 8 VCR	1.1×10⁵	10	3
CMR362			1.1×10⁴	1	2
CMR363			1.1×10³	1.0×10^-1
CMR364			110	1.0×10^-2
CMR365			11	1.0×10^-3	1.3
CMR371	セラミックスキャパシタンスゲージ温度(45℃補正)		1.1×10⁵	10	3
CMR372			1.1×10⁴	1	2
CMR373			1.1×10³	1.0×10^-1
CMR374			110	1.0×10^-2
CMR375			11	1.0×10^-3

B:ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式

型式	名称	フランジ	測定領域（Pa）		最大許容圧力
			上限	下限	（Pa）
TPR280	ピラニゲージ	NW16 ICF34	1.0×10⁵	5.0×10^-2	1×10⁶
TPR281	耐腐食性ピラニゲージ
TPR270	ピラニゲージ	NW16 ICF34	1.0×10⁵	1.0×10^-2	1×10⁶
TRP271	耐腐食性ピラニゲージ			5.0×10^-2
PCR280	ピラニ＆キャパシタンスコンビネーションゲージ	NW16 ICF34	1.5×10⁵	5.0×10^-3	5.0×10^-6
IKR360	コールドカソードゲージ	NW25 NW40 ICF70	1	1.0×10^-7	1×10⁶
IKR361
IKR270				5.0×10^-9
PKR360	ピラニ＆コールドカソードコンビネーションゲージ	NW25 NW40 ICF70	1.0×10⁵	1.0×10^-7	1×10⁶
PKR361
IMR265	プロセスイオンゲージ	NW16 NW25 NW40 ICF34 ICF70	1.0×10⁵	2.0×10^-4	5×10⁵
PBR260	ピラニ＆ホットカソードコンビネーションゲージ	NW25 NW40 ICF70	1.0×10⁵	5.0×10^-8	2×10⁶

■アクティブライン専用コントローラー

	型式・名称	接続可能数	リレー個数	真空度表示形式
	TPG366 マキシゲージコントローラー	6	6 *1	6ch同時可能

■生産終了商品

型式・名称	接続可能数	リレー個数	真空度表示形式
TPG361 シングルゲージコントローラー	1	2	―
TPG362 デュアルゲージコントローラー	2	4	同時表示可

*1：IMR265/PBR260に関しては、最大3個まで接続可能

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

※上記製品の他に、ピエゾゲージ・セラミックキャパシタンスゲージ等が御座います。

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デジライン

・エレクトロニクス内蔵　→　専用コントローラー不要、省スペース
・２種類のフィールドバスコンバーター（Profibusコンバーター、DeviceNetコンバーター）　→　システムコン
　トローラーで制御可能
・RS485 ケーブルでゲージ間シリアル接続可能　→　省ケーブル
・PC、PLCへのデータ転送可能なコントローラー　→　データ管理が容易で、コンパクト

■製品仕様
A：ガス種に依存しない、力学的な計測方式

型式	名称	フランジ	測定領域（Pa）		最大許容圧力
型式	名称	フランジ	上限	下限	(bar)
CPT200	ピエゾゲージ	NW16 Ｇ1/4”	2.0×10⁵	100	4

Ｂ：ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式

型式	名称	フランジ	測定領域（Pa）		最大許容圧力
型式	名称	フランジ	上限	下限	(bar)
PPT200	ピラニゲージ	NW16 ICF34	1.0×10⁵	1.0×10^-2	4
RPT200	ピエゾ＆ピラニコンビネーションゲージ	NW16 ICF34	1.2×10⁵	1.0×10^-2
HPT200	ピラニ＆ホットカソードコンビネーションゲージ	NW40 ICF70	1.0×10⁵	5.0×10^-7 *1
MPT200	ピラニ＆コールドカソードコンビネーションゲージ	NW25 NW40 ICF70	1.0×10⁵	5.0×10^-8 *1

*1:フランジによる
■デジライン用共通コントローラー

型式	名称	接続可能数	リレー個数	真空度表示形式
DPG202	－	2	2	－

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モジュールライン

・多様なニーズにお応えできるラインナップ
　超高真空仕様、耐腐食性仕様、耐放射線仕様
・加速器、放射光関係などの研究機関への納入実績多

■製品仕様
Ｂ：ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式

型式	名称	フランジ	測定領域（Pa）		対放射線
			上限	下限	(Gy)
TPR010	ピラニゲージ	NW10	1.0×10⁵	8.0×10^-2	－
TPR017	耐腐食性＆耐放射線ピラニゲージ	NW16 ICF34			1.0×10⁴
TPR018	超高真空＆耐放射線ピラニゲージ	NW16 ICF34 ICF70
IKR050 *2	コールドカソードゲージ	NW25 *1 NW40 ICF70	5.0×10^-1	2.0×10^-7	－
IKR060 *3	超高真空＆耐放射線コールドカソードゲージ			1.0×10^-8	1.0×10⁷
IKR070 *3				1.0×10^-9

*1：IKR050 のみ NW25対応
*2：内部バイトンシール
*3：内部メタルシール

■TPG300シリーズ用共通コントローラー

型式	名称	接続可能数	リレー個数	真空度表示形式
TPG300	－	4	5 *1	切換

*1：要リレーボード（オプション）このページの先頭へ

その他：ハンディピラニゲージ

・専用コントローラー不要、省スペース
・データロガー機能
・駆動電源は乾電池9V型、またはACアダプター（オプション）
・持ち運びに便利。フィールドサービス用途に◎。
・大気圧近辺で高精度で測定が可能（TPG202のみ）
・1000Pa以上はガス種に依存しない測定が可能（TPG202のみ）

■製品仕様
Ｂ：ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式

型式	名称	フランジ	測定領域（Pa）		最大許容圧力
型式	名称	フランジ	上限	下限	(bar)
TPG201	ピラニゲージ	NW16	1.0×10⁵	5.0×10^-2	4
TPG202	ピエゾピラニゲージ	NW16	1.2×10⁵	5.0×10^-2	2