排気曲線計算
排気曲線計算
排気曲線計算
真空ポンプとチャンバーが配管（円筒直管）で接続された単純な排気システムにおいて
配管コンダクタンスを考慮した排気曲線が計算できます。
必要に応じ各項目の数値を変更し、"Start"ボタンを押してください。
（入力は半角でお願いします）
必要に応じ各項目の数値を変更し、"Start"ボタンを押してください。
（入力は半角でお願いします）
チャンバー
真空チャンバーの容積を設定ください。
単位はリットル L または ｍ3 を選択できます。
単位はリットル L または ｍ3 を選択できます。
初期真空度を設定ください。単位はPaまたはTorrを選択できます。
必要とされる真空度を設定ください。単位は初期真空度と同じです。
真空ポンプ
真空ポンプの排気速度を設定ください。単位はL/min またはｍ3/min を選択できます。
真空ポンプの到達真空度を設定ください。単位は初期真空度と同じです。
配管
配管の内径を設定ください。単位はmm、cm またはインチを選択できます。
配管の長さを設定ください。単位はm、cm またはインチ を選択できます。
※計算結果はあくまで参考値です。
真空排気系を検討される際の目安としてお使いください。(IEでは動作しません。）
※カーソルをグラフに重ねると、その時点での排気時間と真空度が表示されます。
＜計算条件＞
・真空ポンプの排気速度は到達真空度まで一定と
仮定しています。
(実際の排気速度は真空度によって変化します。)
・コンダクタンスは指定された内径、長さの円筒
直管において室温空気で算出しています。
・真空チャンバーや配管からのリーク、アウト
ガスは考慮していません。
・真空排気系の計算でお問合せがある場合は、
ご連絡下さい。
・真空ポンプの排気速度は到達真空度まで一定と
仮定しています。
(実際の排気速度は真空度によって変化します。)
・コンダクタンスは指定された内径、長さの円筒
直管において室温空気で算出しています。
・真空チャンバーや配管からのリーク、アウト
ガスは考慮していません。
・真空排気系の計算でお問合せがある場合は、
ご連絡下さい。
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