X,Y ステージ
X,Y ステージ
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| 型番 | (上)フランジ | (下)フランジ | 通径 | X,Y駆動距離 | 駆動距離 | リークレート |
| (Pa.l.s-1) | ||||||
| 70-70-xy-10-ｔ | ICF70 | ICF70 | 40.0 | ±10.0 | 0.01 | ＜1.33×10-9 |
| 70-114-xy-10-ｔ | ICF70 | ICF114 | 40.0 | ±10.0 | 0.01 | ＜1.33×10-9 |
| 114-114-xy-10-ｔ | ICF114 | ICF114 | 63.0 | ±10.0 | 0.01 | ＜1.33×10-9 |
| 70-152-xy-10-ｔ | ICF70 | ICF152 | 40.0 | ±10.0 | 0.01 | ＜1.33×10-9 |
| 114-152-xy-10-ｔ | ICF114 | ICF152 | 63.0 | ±10.0 | 0.01 | ＜1.33×10-9 |
| 型番 | (上)フランジ | (下)フランジ | 価格 | 納期 |
| 70-70-xy-10-ｔ | ICF70 | ICF70 | ￥386,000 | お問合せ |
| 70-114-xy-10-ｔ | ICF70 | ICF114 | ￥414,000 | お問合せ |
| 114-114-xy-10-ｔ | ICF114 | ICF114 | ￥493,000 | お問合せ |
| 70-152-xy-10-ｔ | ICF70 | ICF152 | ￥443,000 | お問合せ |
| 114-152-xy-10-ｔ | ICF114 | ICF152 | ￥543,000 | お問合せ |
※モーター制御対応（オプション）
※ベーキング許容温度：≦200℃
Ⅹ,Yステージ、マニピュレーター, その他
真空コンポーネント
ビューポートシャッターRHEEDスクリーンが装着可能 |
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