小型トランスファーロッド
小型トランスファーロッド
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| 型番 | フランジ | φA | B | φD | ※移動距離 | 角度 | リークレート |
| (L) | (Pa.l.s-1) | ||||||
| 34-s-tr-(l)-ｔ | ICF34 | 35.0 | 151+S | 6.0 | 18.0+S | ±15° | ＜1.33×10-9 |
| 70-s-tr-(l)-ｔ | ICF70 | 54.0 | 148+S | 12.0 | 35.0+S | ±15° | ＜1.33×10-9 |
※移動距離（L）：（ご相談下さい）
■価格・納期
| 型番 | フランジ | 駆動距離 | 価格 | 納期 |
| 34-s-tr-50-ｔ | ICF34 | 50 | お問合せ | お問合せ |
| 34-s-tr-100-ｔ | ICF34 | 100 | お問合せ | お問合せ |
| 34-s-tr-150-ｔ | ICF34 | 150 | お問合せ | お問合せ |
※角度調整：±30°
※ベーキング許容温度：≦150℃
■トランスファーロッド（その他）
■先端治具（オプション）
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真空コンポーネント
ビューポートシャッターRHEEDスクリーンが装着可能 |
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