マニピュレーター
マニピュレーター
マニピュレーター① |
マニピュレーター② |
マニピュレーター③ |
マニピュレーター④ |
※マニピュレーター ①
■単位：ｍｍ
| 型番 | トラベルフランジ | ベースフランジ | X,Y駆動距離 | ※Z軸起動距離 |
| 70-114-mnp-50-ｔ | ICF70 | ICF114 | ±10.0 | 50 |
| 70-152-mnp-(z)-ｔ | ICF70 | ICF152 | ±10.0 | ご相談 |
| 114-152-mnp-50-ｔ | ICF114 | ICF152 | ±10.0 | 50 |
| 114-203-mnp-(z)-ｔ | ICF114 | ICF203 | ±10.0 | ご相談 |
| 152-203-mnp-(z)-ｔ | ICF152 | ICF203 | ±10.0 | ご相談 |
※マニピュレーター ①
■価格・納期
| 型番 | トラベルフランジ | ベースフランジ | 価格 | 納期 |
| 70-114-mnp-50-ｔ | ICF70 | ICF114 | ￥757,000 | お問合せ |
| 70-152-mnp-(z)-ｔ | ICF70 | ICF152 | お問合せ | お問合せ |
| 114-152-mnp-50-ｔ | ICF114 | ICF152 | ￥1,030,000 | お問合せ |
| 114-203-mnp-(z)-ｔ | ICF114 | ICF203 | お問合せ | お問合せ |
| 152-203-mnp-(z)-ｔ | ICF152 | ICF203 | お問合せ | お問合せ |
※超高真空下における、3次元（X,Y,Z）駆動
※モーター制御対応（オプション）
※各種フランジ対応
※ベーキング許容温度：≦200℃
Ⅹ,Yステージ、マニピュレーター, その他
真空コンポーネント
ビューポートシャッターRHEEDスクリーンが装着可能 |
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