極高真空計｜真空部品のティサポート

極高真空計 3B-Gauge

極高真空計ゲージヘッド

　測定子3B Gauge(Bent Belt-Beam)は、Ion Beamを円筒グリッドの外側からBelt状に取り出し、240°Bent(偏向)した位置で捕捉します。熱陰極型電離真空計に存在する“軟X線”、“電子衝撃離脱(ESD)”、“ガス放出”の3つの測定限界を総合的に改善し、10^-12Pa台までの圧力を、測定可能な新しいタイプの測定子です。
　電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2％BeCu合金のコンフラットフランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。

■特長
・X線限界：従来EXゲージの1/4以下
　　　　　　　2×10^-10Pa ⇒ 5×10^-12Pa
・ESDイオン：偏向角240°、透過率93％のデフレクタで完全に
　分離除去
・中性ESD：PtC-Mo合金グリッド採用で高温脱ガス、高エミッション　電流で排除
・実効感度：2.4×10^-4A/Pa(4ｍA時)の高感度
・ガス放出：新材料0.2％BeCu
　　　　　　　従来品(SUS)の1/10以下
・推奨コンローラ：PREVAC-MG14

■原理図

■製品仕様

電子エネルギー	120eV
フィラメント電位	100V
フィラメント加熱電流	1.5A
フィラメント加熱電圧	3.0V
E-Beam脱ガス電力	480V×10～30ｍA
電子電流	1～4ｍA（10ｍA 可能）
偏向電極電位	155V（デフレクター）
X線限界	約5×10^-12Pa
ベーキング温度	最大280℃
フランジ材質	NiPメッキ 0.2％BeCu合金
電流導入端子	SUS304、Kovar真空端子

※その他ご不明な点が御座いましたら、是非お問合せください。

■極高真空測定子 3BGについて
　10^-9Pa以下の(極高真空)の圧力を正確に測定するためには、測る圧力より1桁以上低い圧力まで測ることが出来る高性能の測定子が必要です。これまで市場に出されてきた極高真空測定子は、測定限界が10^-10Pa程度であるため、残留電流値に細心の注意を払うことが必要でした。残留電流値のわずか1～2％変動しただけで、10^-9Pa台では±10％、10^-10Pa台では±100％以上の圧力測定誤差が生じるためです。
　しかしながら、ほとんどの真空装置では圧力測定値の大きな誤差があることを知ることは困難です。さらに測定限界値付近の誤差は、測定子の感度が変化して誤差が変動する場合(軟X線効果)と残留電流変動によって誤差が変動する場合ESD(Electron-Stimulated Desorption)とガス放出の3つがあり、混同していることになります。一般的に前者の方が影響が大きい傾向にあるため、表示されている圧力は実際よりも-10％,-100％と低く表示されます。極高真空を簡単に発生させることは困難であるため、真空度が低めに表示されることは間違った報告や判断でトラブルとなり、場合によっては大損失につながるケースもあります。
　このような問題に対し、当面の処置方法としては、残留電流の補正をエレクトロニクス技術を駆使して補正する方法が考えられます。しかし、このような補正は、X線限界,ESDイオン,ガス放出など、広範囲で且つ細部に渡る配慮が欠かせないため時間がかかり、頻繁に行うのは実用的ではありません。さらに10^-9Pa以下の圧力測定は、フェムトアンペア台の極端に微小な電流を計測する必要があり、エレクトロニクス側の性能にも配慮が必要になります。
　このような極高真空測定の複雑な問題に対して、最もシンプルで効果的な対処法は、残留電流そのものが十二分に小さくまた、一般のエレクトロメータや既存の真空計コントローラで充分に計測可能な、高性能の測定子を用いることです。

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