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真空部品・真空機器・真空装置・理化学機器のご提供

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超高真空アングルバルブ(ICF) ※UHV対応 (200℃ベーキング)

HTC社 超高真空アングルバルブのご紹介です。 コンフラットフランジ(CFフランジ)に接続します。
ボンネットメタルシールにて、超高真空(UHV対応)です。使用圧力範囲:1.3×10
-7pa、 メンテナンスサイクル:500,000回(ICF34〜ICF152)、繰返しベーキング:200℃

超高真空アングルバルブ(ICF) ※UHV対応

超高真空アングルバルブ(ICF)(手動式)

  ※ボンネットメタルシール(200℃)

手動式アングルバルブ
■単位:mm
フランジサイズ O.D A B C D 価格
(税抜)
納期
ICF34(手動) 19.1 63.5 145.5 166.3 70 ¥30,000 お問合せ
ICF70(手動) 38.1 62.5 165 198 85.6 ¥47,000 お問合せ
ICF114(手動) 63.5 85.7 222.2 264.8 117.4 お問合せ お問合せ
ICF152(手動) 101.6 119.5 346.3 416.3 151.6 お問合せ お問合せ

超高真空アングルバルブ(ICF)(圧空式)

  ※ボンネットメタルシール(200℃)

圧空式アングルバルブ
■単位:mm
フランジサイズ O.D A B C 価格
(税抜)
納期
ICF34(圧空) 19.1 63.5 165.7 70 お問合せ お問合せ
ICF70(圧空) 38.1 62.5 201 85.6 お問合せ お問合せ
ICF114(圧空) 63.5 85.7 278.7 117.9 お問合せ お問合せ
ICF152(圧空) 101.6 119.5 357.1 151.6 お問合せ お問合せ
■共通仕様
項目 仕様
リークレート 2.6×10-10pa・m3/s
使用圧力範囲 1.3×10-7pa〜大気圧
許容ベークキング温度 200℃
ボディ材質 SUS304
ベローズ AM350(溶接ベローズ)
ボンネットシール メタルシール
(注意)
CAD図面もございます。ご要求下さい。
※上記サイズ以外に付きましては是非お問合せください。
※ICF152〜ICF253手動Lアングルバルブはハンドルの形状が図と異なりますので
 別途お問合せください。
価格についてはぜひご相談下さい。
※価格は予告なく変更する場合がございますのでご了承ください。

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