超高真空アングルバルブ(ICF) ※UHV対応 (200℃ベーキング)
ＨＴＣ社 超高真空アングルバルブのご紹介です。 コンフラットフランジ（ＣＦフランジ）に接続します。
ボンネットメタルシールにて、超高真空（ＵＨＶ対応）です。使用圧力範囲:1.3×10-7pa、 メンテナンスサイクル:500,000回（ＩＣＦ34～ＩＣＦ152）、繰返しベーキング：200℃
■単位：ｍｍ
■単位：ｍｍ
■共通仕様
（注意）
※CAD図面もございます。ご要求下さい。
※上記サイズ以外に付きましては是非お問合せください。
※ICF152～ICF253手動Lアングルバルブはハンドルの形状が図と異なりますので
別途お問合せください。
※価格についてはぜひご相談下さい。
※価格は予告なく急な変更が発生する場合がございますのでご了承ください。
ボンネットメタルシールにて、超高真空（ＵＨＶ対応）です。使用圧力範囲:1.3×10-7pa、 メンテナンスサイクル:500,000回（ＩＣＦ34～ＩＣＦ152）、繰返しベーキング：200℃
超高真空アングルバルブ(ICF) ※UHV対応
超高真空アングルバルブ(ICF)(手動式)※ボンネットメタルシール(200℃) |
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 手動式アングルバルブ |
| 型式 | フランジサイズ | O.D | A | B | C | D | 価格 （税抜） |
納期 |
| av34cum | ICF34（手動） | 19.1 | 63.5 | 145.5 | 166.3 | 70 | ￥30,000 | お問合せ |
| av70cum | ICF70（手動） | 38.1 | 62.5 | 165 | 198 | 85.6 | ￥47,000 | お問合せ |
| av114cum | ICF114（手動） | 63.5 | 85.7 | 222.2 | 264.8 | 117.4 | お問合せ | お問合せ |
| av152cum | ICF152（手動） | 101.6 | 119.5 | 346.3 | 416.3 | 151.6 | お問合せ | お問合せ |
超高真空アングルバルブ(ICF)(圧空式)※ボンネットメタルシール(200℃) |
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 圧空式アングルバルブ |
| フランジサイズ | O.D | A | B | C | 価格 （税抜） |
納期 |
| ICF34（圧空） | 19.1 | 63.5 | 165.7 | 70 | お問合せ | お問合せ |
| ICF70（圧空） | 38.1 | 62.5 | 201 | 85.6 | お問合せ | お問合せ |
| ICF114（圧空） | 63.5 | 85.7 | 278.7 | 117.9 | お問合せ | お問合せ |
| ICF152（圧空） | 101.6 | 119.5 | 357.1 | 151.6 | お問合せ | お問合せ |
| 項目 | 仕様 |
| リークレート | 2.6×10-10pa･m3/s |
| 使用圧力範囲 | 1.3×10-7pa～大気圧 |
| 許容ベークキング温度 | 200℃ |
| ボディ材質 | SUS304 |
| ベローズ | AM350(溶接ベローズ) |
| ボンネットシール | メタルシール |
※CAD図面もございます。ご要求下さい。
※上記サイズ以外に付きましては是非お問合せください。
※ICF152～ICF253手動Lアングルバルブはハンドルの形状が図と異なりますので
別途お問合せください。
※価格についてはぜひご相談下さい。
※価格は予告なく急な変更が発生する場合がございますのでご了承ください。
高真空アングルバルブ(ICF)・超高真空アングルバルブ(ICF)
高真空アングルバルブ(ICF)※ボンネットOリングシール
超高真空アングルバルブ(ICF)※ボンネットメタルシール(200℃) |
真空バルブ（HTC社） 日本代理店 【世界の納入実績65,000台/年間を突破！】
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