リチウム蒸着装置｜真空部品のティサポート

リチウム蒸着装置

スライドドア

スライドドアを採用しグローブボックスのデッドスペースがなく全空間が利用できます。

デバイスキャリア

試料をアルゴンガス封止しグローブボックス間を簡易に持ち運びできます。
(10mm角基板6枚入り)

蒸着ボート取付治具

蒸着ボート取付治具は落下防止案内溝付きバネ式構造です。グローブ片手で容易に着脱できます。

■特徴
1.グローブボックスを直結したリチウム蒸発装置です。
2.不活性ガス雰囲気内で金属リチウムを取り扱えます。
3.スライドドアを採用しグローブボックスのデッドスペースがなく全空間が利用できます。
4.蒸着ポート取付治具は落下防止溝付きバネ式構造で容易に着脱できます。
5.チャンバー防着板およびリチウム防着板の二重防着構造です。
6.蒸着源を2基備え切り替えて蒸着できます。
7.飛散防止コーン付きリチウム専用ルツボを用意しています。
8.試料をアルゴン封止し簡便に持ち運びできるデバイスキャリアを用意しています。

■主な仕様

項目	仕様
チャンバー蒸着源基板トレイグローブボックスオプション	SUS304 Li用るつぼ蒸着源及びボート蒸着源（電源1台切替え）最大50mm角　1枚　（加熱無し）上下機構付き大気型、パスボックス付トランスファーロッド、ガス循環精製装置、デバイスキャリア