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真空部品・真空機器・真空装置・理化学機器のご提供

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リチウム蒸着装置

リチウム蒸着装置

リチウム蒸着装置

 

スライドドア

スライドドアを採用しグローブボックスのデッドスペースがなく全空間が利用できます。

デバイスキャリア

試料をアルゴンガス封止しグローブボックス間を簡易に持ち運びできます。
(10mm角基板6枚入り)

蒸着ボート取付治具

蒸着ボート取付治具は落下防止案内溝付きバネ式構造です。グローブ片手で容易に着脱できます。
■特徴
1.グローブボックスを直結したリチウム蒸発装置です。
2.不活性ガス雰囲気内で金属リチウムを取り扱えます。
3.スライドドアを採用しグローブボックスのデッドスペースがなく全空間が利用できます。
4.蒸着ポート取付治具は落下防止溝付きバネ式構造で容易に着脱できます。
5.チャンバー防着板およびリチウム防着板の二重防着構造です。
6.蒸着源を2基備え切り替えて蒸着できます。
7.飛散防止コーン付きリチウム専用ルツボを用意しています。
8.試料をアルゴン封止し簡便に持ち運びできるデバイスキャリアを用意しています。

■主な仕様
項目 仕様

チャンバー
蒸着源
基板トレイ
グローブボックス
オプション

SUS304
Li用るつぼ蒸着源及びボート蒸着源(電源1台切替え)
最大50mm角 1枚 (加熱無し)上下機構付き
大気型、パスボックス付
トランスファーロッド、ガス循環精製装置、デバイスキャリア
※その他ご不明な点が御座いましたら、是非お問合せください。
注)尚、性能向上のため予告なく仕様を変更する事があります。

※本装置は、東京工業大学 物質理工学院 応用化学系
 菅野了次教授、平山雅章准教授のご指導を受けています。

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