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リチウムスパッタ装置

リチウムスパッタ装置

リチウムスパッタ装置

ガス循環精製装置
*オプション


■特長
1.リチウム金属をスパッタ成膜できます。
2.全個体電池やリチウムイオン電池のリチウム負極の成膜に最適です。
3.ワンタッチでターゲット交換ができ作業が容易です。
4.水分や酸素との反応性が高い材料を真空成膜できます。
5.ガリウム、カリウムなどの低融点材料の成膜ができます。
6.グローブボックスを直結し大気にさらすことなく材料を取り扱えます。
7.正極、電解質、負極を連続して成膜試作できる3元スパッタタイプも用意。

■主な仕様
項目 仕様
チャンバー
スパッタガン
基板トレイ
グローブボックス
SUS304 シールド板付
φ2インチ 1基
最大φ2インチ
真空型、パスボックス付
オプション 3元スパッタ、PLD、ガス循環精製装置(露点-80以下)
※その他ご不明な点が御座いましたら、是非お問合せください。
注)尚、性能向上のため予告なく仕様を変更する事があります。

リチウム蒸着装置

リチウム金属の蒸着装置も取り揃えています。
蒸着源を3基備え、3種類の材料が蒸着可能です。


詳細な仕様に付きましては、是非お問合せください。

※本装置は、東京工業大学 物質理工学院 応用化学系
 菅野了次教授、平山雅章准教授ののご指導を受けています。

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