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真空部品・真空機器・真空装置・理化学機器のご提供

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ファイファーバキューム社 ドライポンプ

多段ルーツ式ドライポンプ

多段ルーツ式ドライポンプ
(ACPシリーズ)

・プロセスモニタリング、ロードロック/トランスファーチャンバー、
 イオンビームなどのクリーンアプリケーション向け
・パーティクルレスでクリーンな排気
・空冷式で冷却水が不要
・リークタイト 5 × 10-8 Pa・m3/s ガス回収、ガス循環に最適
・スタンダードモデル
・耐腐食性ガス対応モデル(Gバージョン)
・凝縮性蒸気対応モデル(CVバージョン)
■製品仕様
機種 排気速度
l/min
(m3/h)
50/60Hz
吸気
口径
排気
口径
到達真空度
パージガスなし
(Pa)
到達真空度
パージガスあり
(Pa)
最大水蒸気
処理量
(g/h)
ACP15 232
(14)
NW25 NW16 3 80
ACP15G 10
ACP28 448
(27)
NW25 120
ACP28G 10
ACP28CV 700
ACP40 614
(37)
NW40
ACP40G 10
ACP40CV 700
※耐腐食性用途につきましては事前にご使用のガス等ご相談ください。

ダイアフラムポンプ

ダイアフラムポンプ

・オイルフリー
・低振動、低騒音、(分析装置・研究用途にもお勧め)
・国内外対応、電源仕様
・ブーストモードによりポンプ起動時時の高排気速度を実現
 ※MVP015-2DC,MVP015-4DCのみ搭載
■製品仕様
機種 排気速度
(l/min:50Hz)
排気速度
(l/min:60Hz)
吸気
口径

*1
排気
口径
*1
到達
真空度
(Pa)
リーク
レート
(Pa・m3/s)
MVP006-4 4.2(24VDC) G1/8 200 6.0×10-3
MVP015-2
DC
16.7(24VDC)*2 G1/8 G1/8 350 5.0×10-4
MVP015-2 8.3 11.7
MVP015-4
DC
12.5(24VDC)*2 50
MVP015-4 8.3
(230VAC)
10
(120VAC)
NW16
MVP020-3
AC
20 23.3 G1/8 200 1.0×10-2
MVP030-3
DC
30(24VDC) G1/8 250 1.0×10-2
MVP040-2 38.3 41.7 G1/4 400 2.0×10-3
MVP070-3 63.3 71.7 G1/4 100 2.0×10-3
MVP070-3C
*3
56.7 63.3 ホース
ニップル
10mm
NW16 150
*1:変換用部品もありますので、お問合せください。
*2:ブーストモード時の最大排気量となります。
*3:耐腐食性機種となります。


その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

スクリュー型ドライポンプ

・排気速度:100〜600(m3/h)
・オイルフリー
・水冷システムに温度センサー付き調節バルブ搭載
・パーティクル、液体に強い
・独自の異形ピッチ型スクリュー方式:
 ・エネルギー効率アップ
 ・冷却ガス不要
 ・低回転数 3000 1/min
・低騒音
■製品仕様
機種 排気速度
l/min
(m3/h)
50Hz
排気速度
l/min
(m3/h)
60Hz
吸気
口径
排気
口径
到達
真空度
(Pa)
50Hz
到達
真空度
(Pa)
60Hz
ノイズ
(db)
50Hz
ノイズ
(db)
60Hz
Hepta100 1883
(110)
2167
(130)
DN63
ISO-K
 DN40-
PN16
<5.0 <1.0 70 74
Hepta200 3667
(220)
4417
(265)
DN50-
PN16
71 76
Hepta300 5333
(320)
6833
(410)
72 77
Hepta400 5833
(350)
7000
(420)
DN100
ISO-K
DN80-
PN16 
66 69
Hepta600 8750
(525)
10500
(630)
70 75
その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

ACG600シリーズ

・コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなど一般産業向け
・高スループット
・10m3までの大型チャンバーの排気が可能(オプション)
・耐腐食ガス対応モデル(Gバージョン)
■製品仕様
機種 排気速度l/min(m3/h)
50Hz
排気速度l/min(m3/h)
60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
パージンガスなし(Pa)
ACG600 8000(480) 9333(560) NW50 NW40 9.0×10-2
ACG600G
*1
*1:耐腐食性機種となります。

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

多段ルーツ式ドライポンプ

ACPシリーズ
・プロセスモニタリング、ロードロック/トランスファー
 チャンバー、イオンビームなどのクリーンアプリケーション向け
・パーティクルレスでクリーンな排気
・空冷式→冷却水不要
・リークタイト 5×10-8Pa・m3/s
 →ガス回収、ガス循環に最適
・スタンダードモデル
・耐腐食性ガス対応モデル(Gバージョン)
・凝縮性蒸気対応モデル(CVバージョン)
■製品仕様
機種 排気速度
l/min
(m3/h)
50Hz/60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
パージガスなし
(Pa)
到達真空度
パージガスあり
(Pa)
最大水蒸気
処理量
(g/h)
ACP15 232
(14)
DN 25ISO-
KF
 DN 16ISO-
KF
3 80
ACP15G  10
ACP28 448
(27)
DN 25ISO-
KF 
 − 120
ACP28G  10
ACP28CV  − 700
ACP40 614
(37)
DN 40ISO-
KF
ACP40G 10
ACP40CV 700
※耐腐食性用途については事前にご使用ガス等ご相談ください。

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

ACP120シリーズ

・コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなどの一般産業向け
・大型チャンバーの粗引き用途
・耐腐食ガス対応モデル(Gバージョン)
・パーティクルレスでクリーンな排気
■製品仕様
機種 排気速度
l/min
(m3/h)
50Hz
排気速度
l/min
(m3/h)
60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
パージガスなし
(Pa)
ACP120 1580(95) 1860(112) NW50 NW40 3
ACP120G
*1
*1:耐腐食性機種となります。
※耐腐食性用途については事前にご使用ガス等ご相談ください。

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

A100L/A200L

・ロードロック、及びクリーンプロセス向け
・ハイパフォーマンス、高スループット
・低振動、低ノイズ
・低消費電力タイプ(ESバージョン)
・コンパクト設計
■製品仕様
機種 排気速度
l/min
(m3/h)
50Hz/60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
消費電力
(kw)

*1
A100L 1583(95) NW50 NW25 6.6 1.6
A200L 3340(200) NW50 NW25 1.3 0.7
*1:到達真空度時

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

A103Pドライポンプ

・ミディアムプロセス向け(エッチャー、イオン注入、PVDなど)
・省エネ、省スペース
■製品仕様
機種 排気速度l/min
(m3/h)
吸気口径 排気口径 到達真空度
パージガスなし(Pa)
到達真空度
パージガスあり(Pa)
A103P
*1
2000(120) NW50 NW25 6.5×10-1 2.6
*1:耐腐食性機種となります。
※耐腐食性用途については事前にご使用ガス等ご相談ください。

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

A4Hシリーズ

・ハーシュプロセス向けドライポンプ(PECVD、SACVD、ALDなど)
・過酷なプロセス向け
・高ガススループット
■製品仕様
機種 排気速度l/min
(m3/h)
50Hz
排気速度l/min
(m3/h)
60Hz
吸気
口径
排気
口径
到達真空度
パージガスなし(Pa)
50Hz
到達真空度
パージガスあり(Pa)
60Hz
A124H
*1
1587
(95)
1837
(110)
ISO50K NW40 5 2
A604H
*1
8000
(480)
9352
(560)
ISO100K 2.0×10-1 2.0×10-1
A1204H
*1
17535
(1050)
19200
(1150)
ISO160K 2.2×10-1
A1804H
*1
27555
(1650)
28333
(1700)
8.0×10-1 4.0×10-1
*1:耐腐食性機種となります。

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

真空部品センター@
真空部品真空ゲートバルブ真空バルブ真空コンポーネント真空ポンプ真空計ガス分析計マスフロー

バナースペース

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FAX 072-895-3114
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