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真空部品・真空機器・真空装置・理化学機器のご提供

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ファイファーバキューム社 ターボ分子ポンプ

軸受型(セラミックボールベアリング)

ターボ分子ポンプ

・複合型ターボ分子ポンプ
・取付姿勢自由
・排気速度(N
2)10 l/s〜1900 l/sまでの豊富なラインナップ
・各種規格に対応:RoHS、CE、UL(1部)、Semi
・防塵、防水規格IP54適合
■標準仕様
機種 口径 排気速度N2
(l/s)
排気速度H2
(l/s)
到達真空度
(Pa)
取付姿勢
HiPace10 NW25 10 3.7 5.0×10-3
*1
自在
HiPace30 NW40 22 19 <1.0×10-5
*1
ISO63K 32 20
ICF114 32 20 <5.0×10-8
*2,*3
HiPace80 NW40 35 38 <1.0×10-5
*1
ISO63K 67 48
ICF114 <5.0×10-8
HiPace300H
*4
ISO100K
ICF152
ISO100F
260 220 ISO100K, ISO100F
ISO160K, ISO160F
<1.0×10-5
*2, *3

ICF152
ICF203
<5.0×10-8
*2, *3
HiPace300
HiPace400 370 460
HiPace700 ISO160K 685 555
ICF203
ISO160F
HiPace1200 ISO200K
ICF253
ISO200F
1250 1100 ISO200K, ISO200F
ISO250K, ISO250F
<1.0×10-5
*2, *3

ICF253
ICF303
<5.0×10-8
*2, *3
水平
or
逆水平
HiPace1500 ISO250K
ICF303
ISO250F
1400 1150
HiPace1800 ISO200K
ISO200F
1450 1700
HiPace2300 ISO250K
ICF303
ISO250F
1900 1850
*1:ベーキングなし
*2:チャンバー48時間ベーキング後(メタルシール使用/背圧<5pa)/DIN28428
*3:ベーキング時は、水冷仕様推奨
*4:HiPace300Hは、高圧縮比モデル


その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

■耐腐食性仕様
機種 口径 排気速度N2
(l/s)
排気速度H2
(l/s)
到達真空度
(Pa)
取付姿勢
HiPace300C ISO100K
ICF152
ISO100F
245 125 <1.0×10-5 水平
or
逆水平
HiPace1200C ISO200K
ICF253
ISO200F
1250 1100 <1.0×10-5
HiPace1500C ISO250K
ICF303
ISO250F
1450 1150
HiPace1800C ISO200K
ICF253
ISO200F
1450 1700
HiPace2300C ISO250K
ICF303
ISO250F
1900 1850
※水冷仕様推奨

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

磁気浮上型

・五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ
・メンテナンスフリー、オイルフリー
・取付け方向自由、低振動、低ノズル


■標準仕様
機種 口径 排気速度N2
(l/s)
到達真空度
(Pa)
取付姿勢
HiPace300M ISO100K
ICF152
ISO100F
255 <5.0×10-8 自在
HiPace700M ISO160K 685
ICF203
ISO160F
HiPace800M ISO200K 790
ICF253
ISO200F
〈共通〉

■大排気量用途

ATH−Mシリーズは半導体、FPD、コーティング、太陽電池製造装置、その他産業向け大排気量用磁気浮上型ポンプです。
機種 口径 排気速度N2
(l/s)
到達真空度
(Pa)
取付姿勢
ATH500M DN100 350 <1×10-6 自在
DN160 550
ATH500MT DN100 350
DN160 550
ATH1603M DN200 1360 <6×10-7
DN250 1400
ATH1600MT DN200 1360
DN250 1400
ATH2303M DN250 2150 <6×10-7
ATH2300MT DN250 2150
ATH2804M DN250 2350 <6×10-6
ATH2804MT
ATH3204M DN320 3050 <6×10-6
ATH3204MT
※最大ガス流量 M:ポンプ常温時(冷水25℃)、MT:ポンプ65℃(水冷25℃)
※環境温度、水量、水温など外部状況による

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

■軽ガス排気用途
機種 口径 排気速度N2
(l/s)
到達真空度
(Pa)
取付姿勢
ATP2300M DN250 1950 <1×108 自在
※環境温度、水量、水温など外部状況による

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

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