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真空部品・真空機器・真空装置・理化学機器のご提供

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ファイファーバキューム社 ターボ分子ポンプ排気システム

ハイキューブエコ

ハイキューブエコ

・卓上設置可能なコンパクト設計
・持ち運び可能な軽量設計
・ワンタッチで高真空まで排気可能
・ターボ分子ポンプと背圧ポンプを自由に組合せ可能
・真空計(アクティブライン)の接続、表示が可能
 *真空計独立制御不可/単位(hPa)
■製品仕様
機種 HiCube30Eco HiCube80Eco
ターボ分子ポンプ
吸気口
NW40 ISO63K ICF114 NW40 ISO63K ICF114
排気速度N2  (l/s) 22 32 35 67
到達圧  (Pa) < 1.0×10-5
*1
< 1.0×10-5
*2 *3
<1.0×10-5
*1
< 1.0×10-6
*2 *3
機種 HiCube300Eco HiCube300HEco*4
ターボ分子ポンプ
吸気口
ISO100K ICF152  ISO100K ICF152
排気速度N2  (l/s) 260 260
到達真空度  (Pa) < 1.0×10-5
*1
< 1.0×10-6
*2 *3
< 1.0×10-5
*1
< 1.0×10-6
*2 *3
MVP015-2 (l/min) 15
MVP015-4 15
MVP015-3 30
MVP015-2 圧縮段数
*5
2
MVP015-4 4
MVP015-3 3
*1:ベーキングなし(バイトンシール)
*2:48時間ベーキング後(メタルシール使用)/DIN28428
*3:ベーキング時は、水冷仕様推奨
*4:HiPace300Hは高圧縮比モデル
*5:段数が大きいほど水分に対する排気能力が高い

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

ハイキューブクラシック

ハイキューブクラシック

・自動ベントバルブ標準装備
・キャスター付使用 ※移動が簡単
・ターボ分子ポンプと粗引きポンプを自由に組合せ可能
(油回転ポンプorダイアフラムポンプ)
・フォアバキュームバルブ追加可能
■製品仕様
機種 HiCube80classic HiCube300classic
ターボ分子ポンプ
吸気口
NW40 ISO63K ICF114 ISO100K ICF152
排気速度N2
(l/s) 
35 67 260
到達圧
(Pa)
油回転ポンプ < 1.0×10-5
*1
< 5.0×10-8
*2 *3
ダイアフラム
ポンプ
< 1.0×10-6
*2 *3
機種 HiCube400classic HiCube700classic
ターボ分子ポンプ
吸気口
ISO100K ICF152  ISO160K ICF203
排気速度N2 355 685
到達圧
(Pa)
油回転ポンプ < 5.0×10-8
*2 *3
ダイアフラム
ポンプ
< 1.0×10-6
*2 *3
*1:ベーキングなし(バイトンシール)
*2:48時間ベーキング後(メタルシール使用)/DIN28428
*3:ベーキング時は、水冷仕様推奨

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

■粗引きポンプ選定
機種 HiCube80
classic
HiCube300
classic
HiCube400
classic
HiCube700
classic
ダイアフラムポンプ
(l/min)
MVP015-2 15
MVP040-2 38
MVP070-3 63
油回転ポンプ
(l/min)
DUO3.0 42
DUO5M 84

ハイキューブプロ

ハイキューブプロ

・自動ベントバルブをオプション追加可能
・キャスター標準装備
・ターボ分子ポンプと粗引きポンプを自由に組合せ可能
(油回転ポンプorダイアフラムポンプ)
・フォアバキュームバルブ追加可能
■製品仕様
機種 HiCube80Pro HiCube300Pro
ターボ分子ポンプ
吸気口
NW40 ISO63K ICF114 ISO100K ICF152
排気速度N2
(l/s) 
35 67 260
到達圧
(Pa)
油回転ポンプ  < 1.0×10-5
*1
 < 5.0×10-8
*2 *3
< 1.0×10-5
*1
< 5.0×10-8
*2 *3
ドライポンプ
機種 HiCube400Pro HiCube700Pro
ターボ分子ポンプ
吸気口
ISO100K ICF152  ISO160K ICF203
排気速度N2 355 685
到達圧
(Pa)
油回転ポンプ < 1.0×10-5
*1
< 5.0×10-8
*2 *3
< 1.0×10-5
*1
< 5.0×10-8
*2 *3
ドライポンプ
*1:ベーキングなし(バイトンシール)
*2:48時間ベーキング後(メタルシール使用)/DIN28428
*3:ベーキング時は、水冷仕様推奨

■粗引きポンプ選定
機種 HiCube80
Pro
HiCube300
Pro
HiCube400
Pro
HiCube700
Pro
油回転ポンプ
(l/min)
DUO11M
*4
150
DUO20M
*4
333
2010SD 150
2021SD 300
ドライポンプ
(l/min)
ACP15 233
ACP28 450
*4:DUO Mシリーズはオイル漏れが極めて少ない、アグネットカップリング方式

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(真空部品、真空ゲートバルブ、真空バルブ、真空コンポーネント、真空ポンプ、真空計、ガス分析計、マスフロー)

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