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RHEEDスクリーン

RHEEDスクリーン

緑色⇒Phosphor Layer
黄色⇒Viewport coated with ITO

反射高速電子線解析システム(RHEED)は、
例えばMBE(分子線エピキタシー)装置にて
結晶成長を行われた表面物質を調査するための手段として
使用されます。

TSL社は、一連のRHEEDシステム用の
蛍光スクリーンを製作できます。

蛍光体の厚さ及びタイプは、
そのアプリケーションにより対応します。

代表的な蛍光体
P20・P22・P11・P43
※その他の蛍光体も取扱いしています。


TSL社は明るさを最適化するために
アプリケーションに応じて厚さを決定します。

上図のようにCF(コンフラット)フランジ上のITOを覆い、
その上に蛍光体が覆われています。


高電圧のアプリケーションでは危険なX線から保護する為に
鉛ガラスが必要となります。

これは外部からクリップして使用します。

鉛ガラス上に蛍光体を覆ってCFフランジに
クリップして固定されます。


TSL社カタログ・・・


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