高真空アングルバルブ(ICF)｜真空部品のティサポート

高真空アングルバルブ(ICF)　※HV対応

ＨＴＣ社　高真空アングルバルブのご紹介です。　コンフラットフランジ（ＣＦフランジ）に接続します。
ボンネットＯ-リングシールにて、高真空（ＨＶ対応）です。使用圧力範囲:1×10^-6Pa、メンテナンスサイクル:500,000回（ＩＣＦ34～ＩＣＦ152）、ベーキング：～150℃

高真空アングルバルブ(ICF)　※HV対応

高真空アングルバルブ(ICF)(手動式) 　　※ボンネットＯ-リングシール
手動式アングルバルブ

■単位：ｍｍ

型式	フランジサイズ	O.D	A	B	C	D	価格（税抜）	納期
av34m	ICF34（手動）	19.05	63.5	144.7	165.1	56.8	￥22,000	お問合せ
av70m	ICF70（手動）	38.1	62.4	165.1	197.6	75.6	￥35,000	お問合せ
av114m	ICF114（手動）	63.5	85.5	222.2	264.6	88.3	￥67,700	お問合せ
av152m	ICF152（手動）	101.6	119.5	346.3	402.7		￥172,000	お問合せ
av203m	ICF203（手動）	152.4	165.1	363.6	438.6		お問合せ	お問合せ
av253m	ICF253（手動）	203.2	215.6	552.7	682.7		お問合せ	お問合せ

高真空アングルバルブ(ICF)(圧空式) 　　※ボンネットＯ-リングシール
圧空式アングルバルブ

■単位：ｍｍ

フランジサイズ	O.D	A	B	C	価格（税抜）	納期
ICF34（圧空）	19.05	63.5	165.6	56.8	お問合せ	お問合せ
ICF70（圧空）	38.1	62.4	200.4	75.6	お問合せ	お問合せ
ICF114（圧空）	63.5	85.7	313.2	99.5	お問合せ	お問合せ
ICF152（圧空）	101.6	119.5	447.2	151.6	お問合せ	お問合せ

■バルブ共通仕様

項目	仕様
リークレート	2.6×10^-10pa･m³/s
使用圧力範囲	1×10^-6pa～大気圧
許容ベークキング温度	150℃
ボディ	SUS304
ベローズ	AM350(溶接ベローズ)
ボンネット	バイトンO-リング

（注意）
※CAD図面もございます。ご要求下さい。
※納期の”在庫あり”に付きましては在庫状況が刻々と変化しておりますので、
　お急ぎの場合はお問合せいただきますようお願い致します。
※上記サイズ以外に付きましては是非お問合せください。
※ICF152～ICF253手動Lアングルバルブはハンドルの形状が図と異なりますので
　別途お問合せください。
※ICF203及びICF253タイプの圧空式に付きましては別途お問合せください。
※価格についてはぜひご相談下さい。
※価格は予告なく急な変更が発生する場合がございますのでご了承ください。

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