ロードロックドア
ロードロックドア
ロードロックドア |
・シール材質：フッ素ゴム（ハッチ、窓） ・窓材質：テンパックスTM（標準品）、 石英（オプション） ・許容加熱温度：最大150℃ ・リーク量：1.3×10-8Pa･m3/sec以下 |
| 商品 | 価格 （税抜） |
商品 | 価格 （税抜） |
| ロードロックドア ICF114 （ガラス窓付き） ※有効視径 φ30 ※開口径 φ64 |
お問合せ | ロードロックドア ICF114 （ブランクドア） ※開口径 φ64 |
お問合せ |
| ロードロックドア ICF152 （ガラス窓付き） ※有効視径 φ55 ※開口径 φ99 |
お問合せ | ロードロックドア ICF152 （ブランクドア） ※開口径 φ99 |
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| ロードロックドア ICF203 （ガラス窓付き） ※有効視径 φ100 ※開口径 φ149 |
お問合せ | ロードロックドア ICF203 （ブランクドア） ※開口径 φ149 |
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| ロードロックドア ICF253 （ガラス窓付き） ※有効視径 φ140 ※開口径 φ198 |
お問合せ | ロードロックドア ICF253 （ブランクドア） ※開口径 φ198 |
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※価格は予告なく急な変更が発生する場合がございますのでご了承ください。
真空コンポーネント
回転導入機マグネット式・ベローズ式･マグトラン式 |
ビューポートシャッターRHEEDスクリーンが装着可能 |
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