ICF114 真空ゲートバルブ |
型名 | 302014 | その他 |
フランジ | ICF114 | |
真空領域 | 1.3×10-9Pa UHV対応 | |
リークレート | 2×10-10cc/sec of He | |
許容温度(バルブ開) (バルブ閉) |
200℃ 150℃ |
250℃(カルレッツ) 200℃(カルレッツ) |
【※圧空式 仕様】 | ||
アクチュエーター(圧力) | 70〜100 psig | |
ソレノイド | 120vac、50/60Hz、4W | |
ポジションインジケーター (マイクロスイッチ) |
5A(120/240vac) |
所在地
〒576-0043
大阪府交野市松塚14-12
TEL 072-895-3113
FAX 072-895-3114
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