MDC社 角型ゲートバルブ（SEMI/MESC Port flanges）
角型ゲートバルブ（SEMI/MESC Port flanges）
角型ゲートバルブ
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【仕様】
| 型名 | 330001 | その他 | |
| フランジ内径 | 1.25×8.75インチ（32×222ｍｍ） | 1.81×9.30インチ（46×236ｍｍ） | |
| 真空シール | ボンネット ゲート ピストン |
バイトン | |
| 真空領域 | 1.3×10-6Pa HV対応 | ||
| リークレート | 2×10-10cc/sec of He | ||
| 許容温度 | バルブ開 バルブ閉 |
150℃ | |
| アクチュエーター（圧力） | 70～100 psig | ||
| ソレノイド | 24VDC | ||
| ポジションインジケーター （マイクロスイッチ） |
5A（120/240vac） | ||
真空コンポーネント
回転導入機マグネット式・ベローズ式･マグトラン式 |
ビューポートシャッターRHEEDスクリーンが装着可能 |
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