回転ステージ |
型名 | 665412(Figure2) | その他 |
フランジ | ICF152 | ICF70〜ICF253(各種ICFフランジ) |
ガスケットシール | PTFE | |
真空領域 | 1.3×10-9Pa UHV対応 ※差動排気をした場合 |
1.3×10-6Pa HV対応 |
許容温度 | -20℃〜200℃ |
回転導入機マグネット式・ベローズ式・マグトラン式 |
ビューポートシャッターRHEEDスクリーンが装着可能 |
所在地
〒576-0043
大阪府交野市松塚14-12
TEL 072-895-3113
FAX 072-895-3114
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