Z軸ステージ |
型名 | 665540 | その他 |
フランジ | ICF70 | ICF114・ICF152 |
Z軸 | 6インチ(150mm) | 8〜36インチ(203mm〜910mm) |
軸シール | ベローズ式 | |
真空領域 | 1.3×10-9Pa UHV対応 | |
許容温度 | -20℃〜230℃ |
回転導入機マグネット式・ベローズ式・マグトラン式 |
ビューポートシャッターRHEEDスクリーンが装着可能 |
所在地
〒576-0043
大阪府交野市松塚14-12
TEL 072-895-3113
FAX 072-895-3114
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