振子式APCバルブペントロールシステム｜真空部品のティサポート

振子式APCバルブペントロールシステム

振子式APCバルブペントロールシステム

■仕様
ゲートシール：バイトンOリング
ボンネットシール：バイトンOリング
ボディ材質：A6061-T6
ゲート材質：A6061-T6
リークレート：1×10^-9mbar l/s
使用圧力範囲：1×10^-8mbar～1.2bar
最大差圧△P：2bar
メンテナンスサイクル：200,000回
ベーキング温度：ボディ＜120℃
圧縮エアー圧力：4～6kg/cm²
開/閉時間：2/2s
駆動器：ステップモーター
重量：32kg
取付方向：水平(シリンダアップ)または垂直
オプション：他材質のゲートOリング、ヒーター

■コントローラー付アクチュエーターユニット
消費電力：+24V DC(±10%)
100W max.(controller+motor)
10W max.for Power Failure Option
36W max.for Sensor Power Supply
センサー入力：信号電圧 0-10V DCリニア圧力
入力抵抗 Ri=100kΩ
解像度 2.3mV
サンプリングレート　1ms
制御精度：最大センサー範囲 0.2％
位置解像度：＞8,000
周囲温度：最大50℃
スロットリングサイクル：200,000回
センサー供給：24V DCまたは±15V DC

■単位：mm

フランジサイズ	O.D	A	B	C	D	E	F	G	Port Dia.	価格 (税抜)	納期
ISO250	335	100	338	655	475	283	248	470	254	お問合せ	お問合せ

※CAD図面もございます。ご要求下さい。
※価格は予告なく急な変更が発生する場合がございますのでご了承ください。

■仕様

フランジサイズ	ボルトPCD	ボルトサイズ
ISO250	310	M10×15

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コントローラー

	１：バルブ２：プロセスチャンバー３：ガス導入口４：圧力センサー５：センサーケーブル６：コントローラとアクチュエーター７：リモートコントローラケーブル８：電源ケーブル９：ポンプ
	DISPLAY：状態と異常表示 SERVICE：USB PORTとパソコンに接続、ソフトでパラメーター設定と作動測定 SENSOR：真空計と接続、圧力制御 POWER：外部の電源と接続、モーター作動を供給する INTERFACE：装置またはコントローラーと接続して、外部制御できる