ファイファーバキューム社 ターボ分子ポンプ
軸受型（セラミックボールベアリング）
ターボ分子ポンプ |
・複合型ターボ分子ポンプ ・取付姿勢自由 ・排気速度（N2）10 l/ｓ～1900 l/ｓまでの豊富なラインナップ ・各種規格に対応：RoHS、CE、UL（１部）、Semi ・防塵、防水規格IP54適合 |
| 機種 | 口径 | 排気速度N2 （l/s） |
排気速度H2 （l/s） |
到達真空度 （Pa） |
取付姿勢 |
| HiPace10 | NW25 | 10 | 3.7 | 5.0×10-3 *1 |
自在 |
| HiPace30 | NW40 | 22 | 19 | <1.0×10-5 *1 |
|
| ISO63K | 32 | 20 | |||
| ICF114 | 32 | 20 | <5.0×10-8 *2,*3 |
||
| HiPace80 | NW40 | 35 | 38 | <1.0×10-5 *1 |
|
| ISO63K | 67 | 48 | |||
| ICF114 | <5.0×10-8 | ||||
| HiPace300H *4 |
ISO100K ICF152 ISO100F |
260 | 220 | ISO100K, ISO100F ISO160K, ISO160F <1.0×10-5 *2, *3 ICF152 ICF203 <5.0×10-8 *2, *3 |
|
| HiPace300 | |||||
| HiPace400 | 370 | 460 | |||
| HiPace700 | ISO160K | 685 | 555 | ||
| ICF203 | |||||
| ISO160F | |||||
| HiPace1200 | ISO200K ICF253 ISO200F |
1250 | 1100 | ISO200K, ISO200F ISO250K, ISO250F <1.0×10-5 *2, *3 ICF253 ICF303 <5.0×10-8 *2, *3 |
水平 or 逆水平 |
| HiPace1500 | ISO250K ICF303 ISO250F |
1400 | 1150 | ||
| HiPace1800 | ISO200K ISO200F |
1450 | 1700 | ||
| HiPace2300 | ISO250K ICF303 ISO250F |
1900 | 1850 |
*2：チャンバー48時間ベーキング後（メタルシール使用/背圧<5ｐa）/DIN28428
*3：ベーキング時は、水冷仕様推奨
*4：HiPace300Hは、高圧縮比モデル
その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。
■耐腐食性仕様
| 機種 | 口径 | 排気速度N2 （l/s） |
排気速度H2 （l/ｓ） |
到達真空度 （Pa） |
取付姿勢 |
| HiPace300C | ISO100K ICF152 ISO100F |
245 | 125 | <1.0×10-5 | 水平 or 逆水平 |
| HiPace1200C | ISO200K ICF253 ISO200F |
1250 | 1100 | <1.0×10-5 | |
| HiPace1500C | ISO250K ICF303 ISO250F |
1450 | 1150 | ||
| HiPace1800C | ISO200K ICF253 ISO200F |
1450 | 1700 | ||
| HiPace2300C | ISO250K ICF303 ISO250F |
1900 | 1850 |
その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。
磁気浮上型
・五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ
・メンテナンスフリー、オイルフリー
・取付け方向自由、低振動、低ノズル
■標準仕様
〈共通〉
■大排気量用途
ATH－Mシリーズは半導体、FPD、コーティング、太陽電池製造装置、その他産業向け大排気量用磁気浮上型ポンプです。
※最大ガス流量 M：ポンプ常温時(冷水25℃)、MT：ポンプ65℃(水冷25℃)
※環境温度、水量、水温など外部状況による
その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。
■軽ガス排気用途
※環境温度、水量、水温など外部状況による
その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。
・メンテナンスフリー、オイルフリー
・取付け方向自由、低振動、低ノズル
■標準仕様
| 機種 | 口径 | 排気速度N2 （l/s） |
到達真空度 （Pa） |
取付姿勢 |
| HiPace300M | ISO100K ICF152 ISO100F |
255 | <5.0×10-8 | 自在 |
| HiPace700M | ISO160K | 685 | ||
| ICF203 | ||||
| ISO160F | ||||
| HiPace800M | ISO200K | 790 | ||
| ICF253 | ||||
| ISO200F |
■大排気量用途
ATH－Mシリーズは半導体、FPD、コーティング、太陽電池製造装置、その他産業向け大排気量用磁気浮上型ポンプです。
| 機種 | 口径 | 排気速度N2 （l/s） |
到達真空度 （Pa) |
取付姿勢 |
| ATH500M | DN100 | 350 | <1×10-6 | 自在 |
| DN160 | 550 | |||
| ATH500MT | DN100 | 350 | ||
| DN160 | 550 | |||
| ATH1603M | DN200 | 1360 | ＜6×10-7 | |
| DN250 | 1400 | |||
| ATH1600MT | DN200 | 1360 | ||
| DN250 | 1400 | |||
| ATH2303M | DN250 | 2150 | ＜6×10-7 | |
| ATH2300MT | DN250 | 2150 | ||
| ATH2804M | DN250 | 2350 | ＜6×10-6 | |
| ATH2804MT | ||||
| ATH3204M | DN320 | 3050 | ＜6×10-6 | |
| ATH3204MT |
※環境温度、水量、水温など外部状況による
その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。
■軽ガス排気用途
| 機種 | 口径 | 排気速度N2 （l/s） |
到達真空度 （Pa） |
取付姿勢 |
| ATP2300M | DN250 | 1950 | <1×108 | 自在 |
その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。
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