ファイファーバキューム社 ターボ分子ポンプ排気システム
ハイキューブエコ
ハイキューブエコ |
・卓上設置可能なコンパクト設計 ・持ち運び可能な軽量設計 ・ワンタッチで高真空まで排気可能 ・ターボ分子ポンプと背圧ポンプを自由に組合せ可能 ・真空計（アクティブライン）の接続、表示が可能 *真空計独立制御不可/単位（hPa） |
| 機種 | HiCube30Eco | HiCube80Eco | ||||||||
| ターボ分子ポンプ 吸気口 |
NW40 | ISO63K | ICF114 | NW40 | ISO63K | ICF114 | ||||
| 排気速度N2 | （l/s） | 22 | 32 | 35 | 67 | |||||
| 到達圧 | （Pa） | < 1.0×10-5 *1 |
< 1.0×10-5 *2 *3 |
<1.0×10-5 *1 |
< 1.0×10-6 *2 *3 |
|||||
| 機種 | HiCube300Eco | HiCube300HEco*4 | ||||||||
| ターボ分子ポンプ 吸気口 |
ISO100K | ICF152 | ISO100K | ICF152 | ||||||
| 排気速度N2 | （l/s） | 260 | 260 | |||||||
| 到達真空度 | （Pa） | < 1.0×10-5 *1 |
< 1.0×10-6 *2 *3 |
< 1.0×10-5 *1 |
< 1.0×10-6 *2 *3 |
|||||
| MVP015-2 | (l/min) | 15 | ||||||||
| MVP015-4 | 15 | |||||||||
| MVP015-3 | 30 | |||||||||
| MVP015-2 | 圧縮段数 *5 |
2 | ||||||||
| MVP015-4 | 4 | |||||||||
| MVP015-3 | 3 | |||||||||
*2：48時間ベーキング後（メタルシール使用）/DIN28428
*3：ベーキング時は、水冷仕様推奨
*4：HiPace300Hは高圧縮比モデル
*5：段数が大きいほど水分に対する排気能力が高い
その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。
ハイキューブクラシック
ハイキューブクラシック |
・自動ベントバルブ標準装備 ・キャスター付使用 ※移動が簡単 ・ターボ分子ポンプと粗引きポンプを自由に組合せ可能 （油回転ポンプorダイアフラムポンプ） ・フォアバキュームバルブ追加可能 |
| 機種 | HiCube80classic | HiCube300classic | ||||||||
| ターボ分子ポンプ 吸気口 |
NW40 | ISO63K | ICF114 | ISO100K | ICF152 | |||||
| 排気速度N2 （l/s） |
35 | 67 | 260 | |||||||
| 到達圧 （Pa） |
油回転ポンプ | < 1.0×10-5 *1 |
< 5.0×10-8 *2 *3 |
|||||||
| ダイアフラム ポンプ |
< 1.0×10-6 *2 *3 |
|||||||||
| 機種 | HiCube400classic | HiCube700classic | ||||||||
| ターボ分子ポンプ 吸気口 |
ISO100K | ICF152 | ISO160K | ICF203 | ||||||
| 排気速度N2 | 355 | 685 | ||||||||
| 到達圧 （Pa） |
油回転ポンプ | < 5.0×10-8 *2 *3 |
||||||||
| ダイアフラム ポンプ |
< 1.0×10-6 *2 *3 |
|||||||||
*2：48時間ベーキング後（メタルシール使用）/DIN28428
*3：ベーキング時は、水冷仕様推奨
その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。
■粗引きポンプ選定
| 機種 | HiCube80 classic |
HiCube300 classic |
HiCube400 classic |
HiCube700 classic |
|
| ダイアフラムポンプ （l/min） |
MVP015-2 | 15 | ― | ||
| MVP040-2 | 38 | ― | |||
| MVP070-3 | 63 | ||||
| 油回転ポンプ （l/min） |
DUO3.0 | 42 | |||
| DUO5M | 84 | ||||
ハイキューブプロ
ハイキューブプロ |
・自動ベントバルブをオプション追加可能 ・キャスター標準装備 ・ターボ分子ポンプと粗引きポンプを自由に組合せ可能 （油回転ポンプorダイアフラムポンプ） ・フォアバキュームバルブ追加可能 |
| 機種 | HiCube80Pro | HiCube300Pro | ||||||||||||
| ターボ分子ポンプ 吸気口 |
NW40 | ISO63K | ICF114 | ISO100K | ICF152 | |||||||||
| 排気速度N2 （l/s） |
35 | 67 | 260 | |||||||||||
| 到達圧 （Pa） |
油回転ポンプ | < 1.0×10-5 *1 |
< 5.0×10-8 *2 *3 |
< 1.0×10-5 *1 |
< 5.0×10-8 *2 *3 |
|||||||||
| ドライポンプ | ||||||||||||||
| 機種 | HiCube400Pro | HiCube700Pro | ||||||||||||
| ターボ分子ポンプ 吸気口 |
ISO100K | ICF152 | ISO160K | ICF203 | ||||||||||
| 排気速度N2 | 355 | 685 | ||||||||||||
| 到達圧 （Pa） |
油回転ポンプ | < 1.0×10-5 *1 |
< 5.0×10-8 *2 *3 |
< 1.0×10-5 *1 |
< 5.0×10-8 *2 *3 |
|||||||||
| ドライポンプ | ||||||||||||||
*2：48時間ベーキング後（メタルシール使用）/DIN28428
*3：ベーキング時は、水冷仕様推奨
■粗引きポンプ選定
| 機種 | HiCube80 Pro |
HiCube300 Pro |
HiCube400 Pro |
HiCube700 Pro |
|
| 油回転ポンプ （l/min） |
DUO11M *4 |
150 | |||
| DUO20M *4 |
333 | ||||
| 2010SD | 150 | ||||
| 2021SD | 300 | ||||
| ドライポンプ （l/min） |
ACP15 | 233 | |||
| ACP28 | 450 | ||||
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