ファイファーバキューム社ターボ分子ポンプ排気システム

ファイファーバキューム社　ターボ分子ポンプ排気システム

ハイキューブエコ

・卓上設置可能なコンパクト設計
・持ち運び可能な軽量設計
・ワンタッチで高真空まで排気可能
・ターボ分子ポンプと背圧ポンプを自由に組合せ可能
・真空計（アクティブライン）の接続、表示が可能
　*真空計独立制御不可/単位（hPa）

■製品仕様

機種		HiCube30Eco				HiCube80Eco
ターボ分子ポンプ吸気口		NW40	ISO63K		ICF114	NW40	ISO63K		ICF114
排気速度N2	（l/s）	22	32			35	67
到達圧	（Pa）	< 1.0×10^-5 *1			< 1.0×10^-5 2 3	<1.0×10^-5 *1			< 1.0×10^-6 2 3
機種		HiCube300Eco				*HiCube300HEco4**
ターボ分子ポンプ吸気口		ISO100K		ICF152		ISO100K		ICF152
排気速度N2	（l/s）	260				260
到達真空度	（Pa）	< 1.0×10^-5 *1		< 1.0×10^-6 2 3		< 1.0×10^-5 *1		< 1.0×10^-6 2 3
MVP015-2	(l/min)	15
MVP015-4		15
MVP015-3		30
MVP015-2	圧縮段数 *5	2
MVP015-4		4
MVP015-3		3

*1：ベーキングなし（バイトンシール）
*2：48時間ベーキング後（メタルシール使用）/DIN28428
*3：ベーキング時は、水冷仕様推奨
*4：HiPace300Hは高圧縮比モデル
*5：段数が大きいほど水分に対する排気能力が高い

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

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ハイキューブクラシック

・自動ベントバルブ標準装備
・キャスター付使用　※移動が簡単
・ターボ分子ポンプと粗引きポンプを自由に組合せ可能
（油回転ポンプorダイアフラムポンプ）
・フォアバキュームバルブ追加可能

■製品仕様

機種		HiCube80classic				HiCube300classic
ターボ分子ポンプ吸気口		NW40	ISO63K		ICF114	ISO100K		ICF152
排気速度N2 （l/s）		35	67			260
到達圧（Pa）	油回転ポンプ	< 1.0×10^-5 *1	< 5.0×10^-8 2 3
	ダイアフラムポンプ		< 1.0×10^-6 2 3
機種		HiCube400classic				HiCube700classic
ターボ分子ポンプ吸気口		ISO100K		ICF152		ISO160K	ICF203
排気速度N2		355				685
到達圧（Pa）	油回転ポンプ	< 5.0×10^-8 2 3
	ダイアフラムポンプ	< 1.0×10^-6 2 3

*1：ベーキングなし（バイトンシール）
*2：48時間ベーキング後（メタルシール使用）/DIN28428
*3：ベーキング時は、水冷仕様推奨

その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。

■粗引きポンプ選定

機種		HiCube80 classic	HiCube300 classic	HiCube400 classic	HiCube700 classic
ダイアフラムポンプ（l/min）	MVP015-2	15	―
	MVP040-2	38		―
	MVP070-3	63
油回転ポンプ（l/min）	DUO3.0	42
	DUO5M	84

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ハイキューブプロ

・自動ベントバルブをオプション追加可能
・キャスター標準装備
・ターボ分子ポンプと粗引きポンプを自由に組合せ可能
（油回転ポンプorダイアフラムポンプ）
・フォアバキュームバルブ追加可能

■製品仕様

機種

HiCube80Pro

HiCube300Pro

ターボ分子ポンプ
吸気口

NW40

ISO63K

ICF114

ISO100K

ICF152

排気速度N2
（l/s）

260

到達圧
（Pa）

油回転ポンプ

< 1.0×10^-5
*1

< 5.0×10^-8
*2 *3

< 1.0×10^-5
*1

< 5.0×10^-8
*2 *3

ドライポンプ

機種

HiCube400Pro

HiCube700Pro

ターボ分子ポンプ
吸気口

ISO100K

ICF152

ISO160K

ICF203

排気速度N2

355

685

到達圧
（Pa）

油回転ポンプ

< 1.0×10^-5
*1

< 5.0×10^-8
*2 *3

< 1.0×10^-5
*1

< 5.0×10^-8
*2 *3

ドライポンプ

*1：ベーキングなし（バイトンシール）
*2：48時間ベーキング後（メタルシール使用）/DIN28428
*3：ベーキング時は、水冷仕様推奨

■粗引きポンプ選定

機種		HiCube80 Pro	HiCube300 Pro	HiCube400 Pro	HiCube700 Pro
油回転ポンプ（l/min）	DUO11M *4	150
	DUO20M *4	333
	2010SD	150
	2021SD	300
ドライポンプ（l/min）	ACP15	233
	ACP28	450