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ファイファーバキューム社 ロータリーポンプ

SDシリーズ / Iシリーズ

ロータリーポンプ
(SDシリーズ)

SDシリーズ:標準ポンプ
・大気、希ガス、粗引きポンプ用途

Iシリース:研究開発や分析機器用途
質量分析計、電子顕微鏡、などの粗引き用途
■仕様
機種 排気速度
l/min(m3/h):50Hz
排気速度
l/min(m3/h):60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
2005 90(5.4) 108(6.5) NW25 NW25 1×10-1
2010 162(9.7) 193(11.6)
2015 250(15) 300(18)
2021 345(20.7) 413(24.8)
※上記製品のオイルはファイファー社(アディクセンブランド)の鉱物油使用を推奨しています。

C1シリーズ

ロータリーポンプ
(C1シリーズ)

C1:腐食性用途
・研究開発、実験、凍結乾燥、溶剤排気などの用途
■仕様
機種 排気速度
l/min(m3/h):50Hz
排気速度
l/min(m3/h):60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
2005C1 90(5.4) 108(6.5) NW25 NW25 1.5×10-1
2010C1 162(9.7) 193(11.6)
2015C1 250(15) 300(18)
2021C1 345(20.7) 413(24.8)
※上記製品のオイルはファイファー社(アディクセンブランド)の鉱物油使用を推奨しています。

C2シリーズ

ロータリーポンプ
(C2シリーズ)

C2:腐食性用途
・イオン注入、スパッタリング装置などの用途
■仕様
機種 排気速度
l/min(m3/h):50Hz
排気速度
l/min(m3/h):60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
2010C2 162(9.7) 193(11.6) NW25 NW25 1.5×10-1
2015C2 250(15) 300(18)
2021C2 345(20.7) 413(24.8)
※上記製品のオイルはファイファー社(アディクセンブランド)の鉱物油使用を推奨しています。

DUO

・マグネットカップリング採用
 従来のようなシャフトシール部からのオイル漏れなし
 リークタイト(10-6 pa m3/s)
■仕様
機種 排気速度
l/min(m3/h):50Hz
排気速度
l/min(m3/h):60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
DUO1.6
DUO1.6M
21(1.25) 25(1.5) NW16 NW16 3.0×10-1
DUO3
DUO3M
42(2.5) 49(2.9)
DUO6
DUO6M
84(5) 100(6)
DUO11
DUO11M
150(9) 170(10.5)
DUO20M
*1
334(20) 400(24) NW25 NW25 2.0×10-1
DUO35
DUO35M

*1
534(32) 600(36) NW40 NW40 2.0×10-1
DUO65
DUO65M

*1
1034(62) 1167(70)
DUO125
DUO125M
1917(115) 2250(135) ISO63F ISO63F
DUO255
DUO255M
4167(250) 5000(300) ISO100F ISO100F 3.0×10-1
*1:耐腐食性機種となります。
※機種名の「M」は、マグネットカップリング仕様の略です。

DUO / DCモーター仕様

・DC24V入力電圧で駆動
・運転時温度範囲:-20℃〜+60℃
・低い消費電力<100W
・低騒音<50dB(A)
■仕様
機種 排気速度
l/min(m3/h):50Hz
排気速度
l/min(m3/h):60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
DUO3DC 45(2.7) 45(2.7) DN16ISO-KF DN16ISO-KF 3.0×10-1

Hena

・排気速度→25〜1600(m3/h)
・オイルミストフィルター標準搭載
・コンパクト&パワフル設計
・イージーメンテナンス
・フランジ:接続が容易なDN ISO-KF/Kを採用
・静音、低振動
■仕様
機種 排気速度
l/min(m3/h):50Hz
排気速度
l/min(m3/h):60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
Hena26 417(25) 500(30) Female
thread
G1
1/4"
Female
thread
G1
1/4
30
Hena41 667(40) 800(48)
Hena61 1050(63) 1267(76)
Hena101 1667(100) 2000(120)
Hena201 3333(200) 4000(240) Female
thread
G2"
Female
thread
G2"
Hena301 5000(300) 6000(360)
Hena631 10000(630) 12667(760) Female
thread
G3"
Female
thread

G3"
Hena1000 16667(1000) 20000(1200) DN 160
ISO-K
DN 100
ISO-K×2
100
Hena1600 26667(1600) 32000(1920) 70

Uno Line Plus

・排気速度→250,500(m3/h)
・オイルミストフィルター標準搭載
・コンパクト&パワフル設計
・水蒸気に対する優れた排気特性
・適切な冷却水温調整
■仕様
機種 排気速度
l/min(m3/h):50Hz
排気速度
l/min(m3/h):60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
BA251 4167(250) DN63ISO-F DN63ISO-K <6.0
BA501 8333(500) DN100ISO-F DN100ISO-K

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