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タフゲージ/複合真空計

タフゲージ/複合真空計

タフゲージ/複合真空計

■特長
・コンパクト設計
・視認性の良いシンプルなLED表示
・本体のみで容易に各種設定が可能
 大気圧調整、感度調整、セットポイイント
 ガス種、デガスON、タフモード設定…等
・B-Aゲージ内のグリッド及びコレクタ電極を
 加熱する加熱式電極汚染防止機能付
 (タフモード)
・急激な圧力上昇時にB-Aゲージフィラメントを
 OFFにする機能
 (B-Aゲージ用フィラメント保護機能)
・温度センサー付
 (ピラニ領域での温度補正機能
・ピラニの自動ゼロ点調整機能付
・大気圧での精度:±5%
・最大許容圧力:1.3×105Pa
・専用アプリでデータの管理と制御が可能

■製品仕様
測定範囲 1×10-8Pa〜105Pa
 ピラニゲージ:0.1Pa〜105Pa
 B-Aタフゲージ:1×10-8〜10Pa
入力電源 DC24V 0.8A
消費電力 最大消費電力:19.2W(B-Aタフモード起動時)
測定時消費電力:6W(B-Aタフゲージ測定・タフモードON時)
測定フィラメント ピラニゲージ:ニッケル 1本
B-Aタフゲージ:イットリアコート・イリジウム 1本
エミッション電流 4.2μA、2.5mA 自動切換え
タフモード B-A測定子のグリッドとコレクタを加熱しながら測定を行い
電極汚染を防止する機能
OFF、Low(300℃)、Mid(500℃)、Hi(700℃)の変更が可能
デガスモード グリッドとコレクタを900℃に通電加熱(2分間)
出力信号 アナログ出力0-10V×1ch
セットポンイト接点×2ch
アラーム接点×1ch
入出力コネクタ Dsub15ピン(電源、信号共用)
外部通信 RS232C
接続フランジ NW25、ICF70
重量 約550g
オプション 1ch表示器またはタフゲージ用表示器(3ch切替)

■外観・寸法
NW25 ICF70

■管理・制御用アプリケーション
・ログの取得
・データの保存
・データをExcelデータへ変換
・設定
・操作
・表示

■オプション

3ch切替表示器

1ch表示器(パネル付)*左
1ch表示器(パネルなし)*右


※その他ご不明な点が御座いましたら、是非お問合せください。
※お客様のご要望に応じてカスタマイズをした真空計をご提供することも可能です。

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