直線導入機
直線導入機(スクリュー式)
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| 型番 | フランジ | ※移動距離 | 軸径 | 駆動精度 | リークレート |
| (L) | (Pa.l.s-1) | ||||
| ICF34 | 18+S | φ6.0 | 0.1 | ＜1.33×10-9 | |
| ICF70 | 35+S | φ8.0 | 0.1 | ＜1.33×10-9 |
※移動距離（L）：（ご相談下さい）
■価格・納期
| 型番 | フランジ | ※移動距離 | 価格 | 納期 |
| (L) | ||||
| 34-lmb-25-t | ICF34 | 25 | ￥112,000 | お問合せ |
| 34-lmb-50-t | ICF34 | 50 | ￥132,000 | お問合せ |
| 70-lmb-50-t | ICF70 | 50 | ￥136,000 | お問合せ |
| 70-lmb-100-t | ICF70 | 100 | ￥164,000 | お問合せ |
| 70-lmb-180-t | ICF70 | 180 | ￥193,000 | お問合せ |
※超高真空仕様
※モーター制御可能（オプション）
※ベーキング許容温度：≦200℃
真空コンポーネント
ビューポートシャッターRHEEDスクリーンが装着可能 |
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