直線導入機
直線導入機（負荷型スクリュー式）
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| 型番 | フランジ | 駆動距離 | L | R/E |
| 34-sc-50-t | ICF34 | 50 | 129 | 49.8/99.8 |
| 34-sc-100-t | ICF34 | 100 | 179 | 74.8/174.8 |
| 34-sc-150-t | ICF34 | 150 | 229 | 89.8/239.8 |
| 70-sc-50-t | ICF70 | 50 | 123.8 | 49.8/99.8 |
| 70-sc-100-t | ICF70 | 100 | 173.8 | 74.8/174.8 |
| 70-sc-150-t | ICF70 | 150 | 223.8 | 89.8/239.8 |
■価格・納期
| 型番 | フランジ | 駆動距離 | 価格 | 納期 |
| 34-sc-50-t | ICF34 | 50 | お問合せ | お問合せ |
| 34-sc-100-t | ICF34 | 100 | お問合せ | お問合せ |
| 34-sc-150-t | ICF34 | 150 | お問合せ | お問合せ |
| 70-sc-50-t | ICF70 | 50 | お問合せ | お問合せ |
| 70-sc-100-t | ICF70 | 100 | お問合せ | お問合せ |
| 70-sc-150-t | ICF70 | 150 | お問合せ | お問合せ |
※モーター制御可能（オプション）
※ベーキング許容温度：≦200℃
■その他（仕様打合せ）
真空コンポーネント
ビューポートシャッターRHEEDスクリーンが装着可能 |
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