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真空部品・真空機器・真空装置・理化学機器のご提供

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TEL. 072-895-3113

マニピュレーター(光学ミラーホルダー)

マニピュレーター(光学ミラーホルダー)
■仕様のご相談下さい。

駆動項目 粗調整範囲 粗調整精度 精密調整範囲 精密調整精度
Θ(z)Pitch ±1.5° 0.33°/回転 ±0.2° 0.10°/回転
Θ(y) Roll ±2.0° 1.00°/回転 ±0.5° 0.25°/回転
Θ(x)Yaw ±1.5° 0.30°/回転 ±0.5° 0.25°/回転
平行移動範囲と精度 範囲±5㎜、精度0.1㎜
真空調整可否 可能

Ⅹ,Yステージ、マニピュレーター,　その他

X,Y,ステージ

マニピュレーター①

マニピュレーター②

マニピュレーター③

マニピュレーター④

マニピュレーター
(高精度・モーター)

マニピュレーター(負荷型)

マニピュレーター
(光学ミラー5軸駆動機構)

マニピュレーター
(電子銃8軸駆動)

マニピュレーター
(2次元特殊回転)

光学ミラーホルダー

真空コンポーネント

回転導入機
(ベローズ式、マグネット式)

直線導入機

小型トランスファーロッド

トランスファーロッド

X-Yステージ

マニピュレーター

直線導入機
(高精度中空型)

メカニカルハンド

ビームラインスリット

アングルアジャスト
(溶接ベローズ・成型ベローズ)

ビューポートシャッター

RHEEDスクリーンが装着可能

ロードロックドア

ファイファーバキューム社
真空コンポーネント

ターボポンプ・排気システム・
ロータリーポンプ・真空計・
ドライポンプ・ダイアフラムポンプ・四重極型質量分析計・
リークディテクター

MDC社 真空コンポーネント

キャノンアネルバ 製品

四重極型質量分析計・真空計・
リークバルブ・E型電子銃・
リークディテクタ・導入機　etc

キャノンアネルバ総合カタログ

真空部品センター①
真空部品 真空ゲートバルブ 真空バルブ 真空コンポーネント 真空ポンプ 真空計 ガス分析計 マスフロー

真空ﾋﾞｭｰﾎﾟｰﾄ

電流導入端子

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NW･KF･JIS･
ISO規格品

真空ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙﾁｭｰﾌﾞ

真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ･真空配管部品

食い込み継手

HTC社ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ

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MDC社ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ

高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
超高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ

ｵｰﾙﾒﾀﾙｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ

高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
(ｽﾃﾝﾚｽ)

高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
(ｱﾙﾐﾆｳﾑ)

真空ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ

真空ﾎﾞｰﾙﾊﾞﾙﾌﾞ

振子式ﾊﾞﾙﾌﾞ･
ｽﾘｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞ･ﾄﾞｧﾊﾞﾙﾌﾞ

その他ﾊﾞﾙﾌﾞ
 

回転導入機
(ﾍﾞﾛｰｽﾞ式、ﾏｸﾞﾈｯﾄ式)

直線導入機

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ﾄﾗﾝｽﾌｧｰﾛｯﾄﾞ

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直線導入機
(高精度中空型)

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ｱﾝｸﾞﾙｱｼﾞｬｽﾄ
(溶接ﾍﾞﾛｰｽﾞ・成型ﾍﾞﾛｰｽﾞ)

ﾋﾞｭｰﾎﾟｰﾄｼｬｯﾀｰ

ﾛｰﾄﾞﾛｯｸﾄﾞｱ

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真空ｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ

MDC社製品

ｷｬﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ製品

ﾀｰﾎﾞﾎﾟﾝﾌﾟ

ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ

ｺｰﾙﾄﾞｶｿｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ

ﾐﾆﾁｭｱｲｵﾝｹﾞｰｼﾞ

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真空計

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ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ

真空部品センター②
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