マニピュレーター
マニピュレーター(高精度・モーター駆動)
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■単位：ｍｍ
| 型番 | トラベル フランジ |
ベース フランジ |
X,Y駆動距離 | Z軸起動距離 | 駆動精度 | 駆動精度 |
| （Ｘ,Y） | （Z） | |||||
| 70-114-mnp-hm-(z)-ｔ | ICF70 | ICF114 | ±10.0 | ご相談 | 0.01 | 0.1 |
| 70-152-mnp-hm-(z)-ｔ | ICF70 | ICF152 | ±10.0 | ご相談 | 0.01 | 0.1 |
| 114-152-mnp-hm-(z)-ｔ | ICF114 | ICF152 | ±10.0 | ご相談 | 0.01 | 0.1 |
| 114-203-mnp-hm-(z)-ｔ | ICF114 | ICF203 | ±10.0 | ご相談 | 0.01 | 0.1 |
| 型番 | トラベルフランジ | ベースフランジ | 価格 | 納期 |
| 70-114-mnp-hm-(z)-ｔ | ICF70 | ICF114 | お問合せ | お問合せ |
| 70-152-mnp-hm-(z)-ｔ | ICF70 | ICF152 | お問合せ | お問合せ |
| 114-152-mnp-hm-(z)-ｔ | ICF114 | ICF152 | お問合せ | お問合せ |
| 114-203-mnp-hm-(z)-ｔ | ICF114 | ICF203 | お問合せ | お問合せ |
※XY駆動とZ駆動は,独立仕組み
※トラベルフランジICF114, ベースフランジICF152
※XYステージ内部にはサポートリング有り,
トラベルフランジに装着されているパイプの揺らぎを抑えます。
※モーター制御対応
※ベーキング許容温度：≦200℃
Ⅹ,Yステージ、マニピュレーター, その他
真空コンポーネント
ビューポートシャッターRHEEDスクリーンが装着可能 |
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