MDC社 ロードロックシステム
ロードロックシステム
ロードロックシステム |
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【仕様】
| 型名 | 665080 | その他 |
| 試料サイズ | 1-3/8インチ（35ｍｍ） | 2-3/8～3-3/4インチ（95ｍｍ） |
| 真空領域 | 1.3×10-8Pa | |
| 許容温度 | -20℃～150℃ | |
| 移動距離 | 12インチ（304ｍｍ） | 24～36インチ（900ｍｍ） |
| ドアー内径 | 2インチ（50ｍｍ） | 2.38～3.83インチ（97ｍｍ） |
| バルブ内径 | 1.5インチ（38ｍｍ） | 2.5～4インチ（100ｍｍ） |
真空コンポーネント
回転導入機マグネット式・ベローズ式･マグトラン式 |
ビューポートシャッターRHEEDスクリーンが装着可能 |
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