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MDC社 ロードロックシステム

ロードロックシステム

ロードロックシステム

                      単位:Inch
【仕様】
型名 665080 その他
試料サイズ 1-3/8インチ(35mm) 2-3/8〜3-3/4インチ(95mm)
真空領域 1.3×10-8Pa
許容温度 -20℃〜150℃
移動距離 12インチ(304mm) 24〜36インチ(900mm)
ドアー内径 2インチ(50mm) 2.38〜3.83インチ(97mm)
バルブ内径 1.5インチ(38mm) 2.5〜4インチ(100mm)

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