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真空部品・真空機器・真空装置・理化学機器のご提供

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MDC社　ロードロックシステム

ロードロックシステム

ロードロックシステム

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　単位：Inch
【仕様】
型名 665080 その他
試料サイズ 1-3/8インチ（35ｍｍ） 2-3/8～3-3/4インチ（95ｍｍ）
真空領域 1.3×10-8Pa
許容温度 -20℃～150℃
移動距離 12インチ（304ｍｍ） 24～36インチ（900ｍｍ）
ドアー内径 2インチ（50ｍｍ） 2.38～3.83インチ（97ｍｍ）
バルブ内径 1.5インチ（38ｍｍ） 2.5～4インチ（100ｍｍ）

MDC社　ロードロックシステム

ロードロックシステム

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ロードロックシステム

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トランスファーロッド

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直線導入機
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ロードロックドア

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高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
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高真空ｱﾝｸﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
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