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MDC社　角型試料ロードロックシステム

角型試料ロードロックシステム

角型試料ロードロックシステム

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　単位：Inch
【仕様】
型名 665609 その他
角型試料サイズ 8インチ（203ｍｍ）
バルブ内径 1インチ×8.3インチ
（25.4ｍｍ×210ｍｍ）
真空領域 1.3×10-8Pa
許容温度 -20℃～150℃
移動距離 12インチ（304ｍｍ） 24～36インチ（910ｍｍ）

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