ファイファーバキューム社 ロータリーポンプ
SDシリーズ / Iシリーズ
ロータリーポンプ
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SDシリーズ：標準ポンプ ・大気、希ガス、粗引きポンプ用途 Iシリース：研究開発や分析機器用途 質量分析計、電子顕微鏡、などの粗引き用途 |
| 機種 | 排気速度 l/min(m3/h):50Hz |
排気速度 l/min(m3/h):60Hz |
吸気口径 | 排気口径 | 到達真空度 |
| 2005 | 90（5.4） | 108（6.5） | NW25 | NW25 | 1×10-1 |
| 2010 | 162（9.7） | 193（11.6） | |||
| 2015 | 250（15） | 300（18） | |||
| 2021 | 345（20.7） | 413（24.8） |
C1シリーズ
ロータリーポンプ
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C1：腐食性用途 ・研究開発、実験、凍結乾燥、溶剤排気などの用途 |
| 機種 | 排気速度 l/min(m3/h):50Hz |
排気速度 l/min(m3/h):60Hz |
吸気口径 | 排気口径 | 到達真空度 |
| 2005C1 | 90（5.4） | 108（6.5） | NW25 | NW25 | 1.5×10-1 |
| 2010C1 | 162（9.7） | 193（11.6） | |||
| 2015C1 | 250（15） | 300（18） | |||
| 2021C1 | 345（20.7） | 413（24.8） |
C2シリーズ
ロータリーポンプ
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C2：腐食性用途 ・イオン注入、スパッタリング装置などの用途 |
| 機種 | 排気速度 l/min(m3/h):50Hz |
排気速度 l/min(m3/h):60Hz |
吸気口径 | 排気口径 | 到達真空度 |
| 2010C2 | 162（9.7） | 193（11.6） | NW25 | NW25 | 1.5×10-1 |
| 2015C2 | 250（15） | 300（18） | |||
| 2021C2 | 345（20.7） | 413（24.8） |
DUO
| ・マグネットカップリング採用 従来のようなシャフトシール部からのオイル漏れなし リークタイト(10-6 pa m3/s) |
| 機種 | 排気速度 l/min(m3/h):50Hz |
排気速度 l/min(m3/h):60Hz |
吸気口径 | 排気口径 | 到達真空度 |
| DUO1.6 DUO1.6M |
21（1.25） | 25（1.5） | NW16 | NW16 | 3.0×10-1 |
| DUO3 DUO3M |
42（2.5） | 49（2.9） | |||
| DUO6 DUO6M |
84（5） | 100（6） | |||
| DUO11 DUO11M |
150（9） | 170（10.5） | |||
| DUO20M *1 |
334（20） | 400（24） | NW25 | NW25 | 2.0×10-1 |
| DUO35 DUO35M *1 |
534（32） | 600（36） | NW40 | NW40 | 2.0×10-1 |
| DUO65 DUO65M *1 |
1034（62） | 1167（70） | |||
| DUO125 DUO125M |
1917（115） | 2250（135） | ISO63F | ISO63F | |
| DUO255 DUO255M |
4167（250） | 5000（300） | ISO100F | ISO100F | 3.0×10-1 |
※機種名の「M」は、マグネットカップリング仕様の略です。
DUO / DCモーター仕様
| ・DC24V入力電圧で駆動 ・運転時温度範囲：-20℃～+60℃ ・低い消費電力＜100W ・低騒音＜50dB(A) |
| 機種 | 排気速度 l/min(m3/h):50Hz |
排気速度 l/min(m3/h):60Hz |
吸気口径 | 排気口径 | 到達真空度 |
| DUO3DC | 45（2.7） | 45（2.7） | DN16ISO-KF | DN16ISO-KF | 3.0×10-1 |
Hena
| ・排気速度→25～1600(m3/h) ・オイルミストフィルター標準搭載 ・コンパクト＆パワフル設計 ・イージーメンテナンス ・フランジ：接続が容易なDN ISO-KF/Kを採用 ・静音、低振動 |
| 機種 | 排気速度 l/min(m3/h):50Hz |
排気速度 l/min(m3/h):60Hz |
吸気口径 | 排気口径 | 到達真空度 |
| Hena26 | 417（25） | 500（30） | Female thread G1 1/4" |
Female thread G1 1/4 |
30 |
| Hena41 | 667（40） | 800（48） | |||
| Hena61 | 1050（63） | 1267（76） | |||
| Hena101 | 1667（100） | 2000（120） | |||
| Hena201 | 3333（200） | 4000（240） | Female thread G2" |
Female thread G2" |
|
| Hena301 | 5000（300） | 6000（360） | |||
| Hena631 | 10000（630） | 12667（760） | Female thread G3" |
Female thread G3" |
|
| Hena1000 | 16667（1000） | 20000（1200） | DN 160 ISO-K |
DN 100 ISO-K×2 |
100 |
| Hena1600 | 26667（1600） | 32000（1920） | 70 |
Uno Line Plus
| ・排気速度→250,500(m3/h) ・オイルミストフィルター標準搭載 ・コンパクト＆パワフル設計 ・水蒸気に対する優れた排気特性 ・適切な冷却水温調整 |
| 機種 | 排気速度 l/min(m3/h):50Hz |
排気速度 l/min(m3/h):60Hz |
吸気口径 | 排気口径 | 到達真空度 |
| BA251 | 4167（250） | DN63ISO-F | DN63ISO-K | <6.0 | |
| BA501 | 8333（500） | DN100ISO-F | DN100ISO-K | ||
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